半導体クリーンルーム向け低アウトガスシーリング材を発売

「抗菌GOOD！クリーンルーム用®」を9月30 日に発売

積水化学工業株式会社

2024年9月27日 11時00分

2024 年9月27日

各位

積水化学工業株式会社

積水フーラー株式会社

半導体クリーンルーム向け低アウトガスシーリング材を発売

積水化学工業株式会社（代表取締役社長：加藤敬太、以下「積水化学」）とH.B. Fuller

Company（President and CEO: Celeste Mastin）の合弁会社である積水フーラー株式会社（代表取締役社長：Scott Pergandeスコットパーギャンディ、以下「積水フーラー」）は、電子材料の汚染につながるアウトガス成分を抑制したシーリング材「抗菌GOOD！クリーンルーム用®」を9月30 日に発売します。

1．開発背景

積水フーラーは、変成シリコーン樹脂を用いたシーリング材・接着剤のパイオニアとして、住宅・建材業界において30年以上の実績を有します。健康に配慮した製品設計、耐久性の向上、耐火性能の付与など、多くの住宅・建材メーカーとの取り組みのなかで先進的な技術構築を進めてきました。

昨今、経済安全保障上のリスク回避などの理由より、日本国内で半導体関連産業の投資が相次いで発表されています。半導体やフラットパネルディスプレイなどの先端産業においては、製造環境中に存在する揮発性物質が製品へ付着し、性能へ悪影響を及ぼすことが問題となるため、特にクリーンルーム内では使用する部材から放出される揮発性物質は厳格な管理対象となります。シーリング材においてはBHTや環状シロキサンなど悪影響となる揮発性物質が含まれるため汎用品の使用が難しく、クリーンルームでの使用に特化したシーリング材が選定されています。しかしながら、半導体向けシーリング材についてはその特殊性から、供給可能なメーカーは限られ、旺盛な需要に対して慢性的な供給不足を起こしている状況です。また、工場建設の現場では職人不足が深刻化しており、工期の短縮ができる施工簡易化の新工法や、職人の負担を軽減する施工しやすい材料が求められています。

これらの課題解決に向け、積水フーラーはこれまで住宅トップメーカー各社との協業体制により培ってきた「一液湿気硬化型シーリング材」の知見を結集し、関連材料メーカー・ゼネコン・施工業者などの意見を取り入れながら開発・検証を繰り返し、この度、クリーンルーム用シーリング材（製品名：抗菌GOOD！クリーンルーム用®）の技術確立と量産化のめどが立ったことから発売します。

2．「抗菌GOOD！クリーンルーム用®」の特徴

「抗菌GOOD！クリーンルーム用®」は、通常の変成シリコーン系シーリング材の施工性、伸び、接着性を保ちながら、電子材料を汚染するアウトガス成分を抑制したシーリング材です。

①低アウトガス（検出限界以下）

電子材料を汚染するアウトガス成分としての11成分を日本空気清浄協会（JACA）が定めたクリーンルーム構成材料から発生する分子状汚染物質の測定方法指針であるJACA No.34-1999（ダイナミックヘッドスペースエンジニアリングテスト法）を参考とした試験を実施し、いずれの成分も検出限界以下という結果を得ることができました。