マスフローコントローラーに関する調査 (2023年)

調査期間：2023年1月3日～3月31日

調査機関：調査委託先 :  株式会社 パノラマデータインサイト

調査対象 :  全世界のあらゆる規模の組織から、890人のリーダーを対象にして調査を実施しました。

有効回答数 : (890人)

調査方法 : 電話調査300人、インターネット調査590人

調査回答者： 調査は、収益に基づいて企業間で実施されました。

調査結果:

質問：御社が主に製造および使用されているマスフローコントローラーの一次流量はどれくらいですか？

回答：この質問に対する答えは、以下の通りです。

• 低流量： 200人の回答者（22.5%）
• 中流量： 420人の回答者（47.2%）
• 高流量： 270人の回答者（30.3％）

質問：御社では、マスフローコントローラーにどのようなセンサーを使用していますか？

回答：この質問に対する答えは、以下の通りです。

• 圧力センサー:  560 人 (62.9%) が回答しました。
• 熱センサー:  330 人 (37.1%) が回答しました。​

質問：マスフローコントローラーの主な用途は何ですか?

回答：この質問に対する答えは、以下の通りです。

• ガスクロマトグラフィー: 400 人 (44.9%)が回答しました。
• 半導体: 490 人 (55.1%) が回答しました。

質問：御社では、主にどのようなプロセスでマスフローコントローラを使用されていますか？

回答：この質問に対する答えは、以下の通りです。

• CVD (化学蒸着): 240 人 (27%) が回答しました。
• PVD (物理蒸着): 230 人 (25.8%) が回答しました。
• プラズマエッチングプロセス: 220 人(24.7%) が回答しました。
• 背面水冷:  200 人 (22.5%) が回答しました。

調査結果:

• マスフローコントローラのグローバル調査では、北米、欧州、APAC、MEA、南米のCEO、CIO、CTO、マネージャー、事業責任者、ディレクターなど、890人の主要企業の担当者から回答を得ました。この四半期調査の目的は、世界の産業界のトレンド、慣行、および好みを把握することです。
• その結果、中流量マスフローコントローラー（47.2％）の普及率が高いことが判明しました。また、圧力センサーは熱センサーに比べて62.9%も多く利用されていることが明らかになりました。
• 用途別では、「半導体」が55.1％でトップとなり、「ガスクロマトグラフィー」をわずかに上回っています。これは、半導体産業において、マスフローコントローラーが、半導体の製造工程におけるガスの流れを制御するという重要な役割を果たしていることを表しています。

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