新しい高性能気圧センサを発表

革新的なMEMS技術により、
極めて正確な気圧測定を可能にする新しい小型シリコン圧力センサ
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世界トップクラスのコンスーマおよび携帯型機器向けMEMSセンサのサプライヤ
であるSTマイクロエレクトロニクス（NYSE: STM、以下ST）は、
最新のMEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）気圧センサを発表しました。
このセンサを搭載する事により、近い将来、スマートフォン等の携帯型機器は、
地下750mやエベレストの頂上でも、1m以内の精度でその地点の高度を特定できる
ようになります。(1)

新しいLPS001WPは、革新的な技術を使用したシリコン製の小型気圧センサで、
気圧測定（および高度測定）における分解能が極めて高く、気象観測所や自動車
および産業用アプリケーションの他、スマートフォン、スポーツ・ウォッチ、
その他の携帯型機器に最適な非常に小型で薄型のパッケージに実装されます。

STのMEMS・センサ・高性能アナログ製品事業部 ジェネラル・マネージャである
Benedetto Vignaは、次の様にコメントしています。「MEMS技術により、直線的な
動作や角速度、圧力、あるいは磁界といった様々な物理パラメータを測定できる
新しいセンサを次々に開発し、コストを低減すると同時に精度を向上させることが
できます。こうしたセンサを消費者ニーズにどのように適合させるかは、私たちの
想像力次第です。」

最初に想定される応用分野の1つは、携帯型機器において位置情報を2次元でのみ
特定する従来のGPS機能を拡張することです。LPS001WPを搭載することにより、
3次元で位置を正確に特定できるようになります。例えば、携帯電話から消防、
救急、あるいは警察への緊急連絡を行う際、建物の位置だけでなく、どの階にいる
のかもわかります。

LPS001WPが機能する気圧範囲は300～1,100ミリバールで、これは標高-750～9,000m
における気圧に対応しています。また、圧力の分解能は0.065ミリバールで、
これは80cmの高度差に相当します。同製品は、ST独自の「VENSENS」と呼ばれる、
圧力センサをモノリシック・シリコン・チップ上に形成する技術によって
製造されます。この製造技術では、一般的な気圧センサの製造に必要となる
ガラスとシリコンといったウェハ間の接合が不要なため、信頼性を最大限に高める
ことが可能です。

LPS001WPは、高さ方向と気圧の両パラメータが厳密に制御された空洞部分を
シリコンに製造し、その上に形成されるシリコンの薄膜部分によって圧力を
検知しています。この膜は、従来のシリコン・マイクロマシニングによる膜に
比べると面積が非常に小さくできるという利点があり、また、その構造上
組み込まれている機械式ストッパによって破壊から保護されています。膜には、
外部の圧力変化による膜の曲がりに応じて電気抵抗が変化する小さな構造体である
ピエゾ抵抗素子が含まれています。その抵抗値の変化は検出後温度補正され、
機器のホスト・プロセッサから業界標準のI2CまたはSPI通信プロトコルを通して
読込めるデジタル値に変換されます。

LPS001WPの技術的特徴

・0.065ミリバールの高分解能：80cmの高度差を検知
・ST独自の技術「VENSENS」：高い耐衝撃性（フル・スケールの最大20倍）
・内蔵温度センサによる温度範囲補正
・圧力値・温度値の出荷前較正により、顧客による較正不要
・プラスチック製の小型ランド・グリッド・アレイ（HCLGA-8L）パッケージ：
　パッケージ上のホールより、外部圧力をセンシング素子へ伝達

LPS001WPは、拡大を続けるSTのMEMSセンサ製品群に追加された最新製品で、ウェハ
製造からパッケージング・テストまでのSTの完全な製造チェーンのメリットを活か
せる大量製造・低価格アプリケーションを対象としています。2010年12月に
出荷開始される予定で、大量購入時の単価は約2.8ドルです。

(1)iSupply H2 2010

STマイクロエレクトロニクスについて
STマイクロエレクトロニクスは、多種多様な電子機器向けに革新的な
半導体ソリューションを提供する世界的な総合半導体メーカーです。
STは、高度な技術力と設計ノウハウ、そして幅広いIP（Intellectual Property）
ポートフォリオ、戦略的パートナーシップ、大規模な製造力を駆使することにより、
マルチメディア・コンバージェンスとパワー・アプリケーションにおいて他社の
追随を許さないリーダーとなることを目指しています。2009年の売上は85.1億ドル
でした。さらに詳しい情報はSTのホームページをご覧ください。
ST日本法人:http://www.st-japan.co.jp
STグループ（英語）:http://www.st.com

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