「Zygo Metrology Seminar」を開催。Zygo製品の活用方法や技術理論のミニセミナーや最新の技術トピックスに関する講演会を実施

キヤノンマーケティングジャパン株式会社（代表取締役社長：坂田正弘）は、本社3階 キヤノンホール Sにて「Zygo Metrology Seminar」を2016年11月16日に開催します。

Zygo Metrolgy Seminar

第14回目となる今回は「Zygoメトロロジー活用による自社の技術向上」をテーマに、Zygo製品の活用方法にフォーカスをあて、最新の技術トピックスについて５つの講演会を行います。また、講演会に先立ち、Zygo製品の活用方法や技術理論に関する4テーマを取り上げたプレセッションを開催し、会の終了後には、参加者同士の情報交換の場として懇親会も行います。

下記のホームページより参加申し込みを受け付けています。
http://cweb.canon.jp/indtech/zygo/seminar/index.html

＜セミナー内容＞ （13:00～）
■講演1     「TMTミラーの面形状計測技術」             
　　　 キヤノン株式会社　半導体機器第二PLMセンター　LSオプティクス開発室　主幹　松田融

【概要】
国際協業で建設されるTMT望遠鏡は約500枚のセグメントミラーから構成される。このセグメントミラーは大口径(約1.5m)でかつ曲率Rが大きい(約60m)非球面形状であるため、面形状の計測が困難である。キヤノンではこのセグメントミラー量産のために、DynaFiz干渉計や接触式測定器など、空間周波数帯域に応じて複数の計測方法を組み合わせた面形状計測手法を確立した。この計測手法について紹介する。

■講演2　   「Stonelappingの品質におけるZygo NewViewによる測定結果について」             
         西部自動機器株式会社　上席技術顧問　堀捷樹様、　生産部課長　上池満洋様

【概要】
加工技術の向上は評価技術（分析・解析・測定）の向上と表裏一体であり、最近超仕上げ加工（社内名称　Stonelapping）の品質が益々向上し、その評価技術を確立する要求に迫られている。そこで、形状特性、特に表面粗さの形状測定にZygo NewView8300を使用し、Stonelapping後の形状特性を求めた事例を紹介すると同時に、Stonelapping加工技術の現状についても報告する。

■講演3　   「Zygo社走査型フィゾー干渉計を利用した高精度光学素子の製作事例」      
         夏目光学株式会社　テクノロジーセンター　取締役所長　橋爪寛和様

【概要】
夏目光学株式会社は高精度・特殊な光学素子を提供し続けて70年となった。長く培ってきた特殊光学素子の加工技術と、Zygo社の先端的な計測システムを利用した評価技術との融合により、高精度な光学素子を実現している。本セミナーではZygo社干渉計を利用した様々な光学素子の計測事例と、その計測結果を用いて精密修正研磨を施した高精度光学素子の製作事例を紹介する。

 ■講演4     「高精度平面の加工／計測技術」                          
          株式会社テクニカル　製造一課　課長　工藤渉様

【概要】
特許技術「クロビット」、「表面品質比較判断プレート」のご紹介。高精度平面の加工と計測技術のご紹介。産業技術総合研究所との超高精度平面研磨技術の共同研究について説明。λ/100原器の研磨、およびZygo社干渉計を用いたその評価方法について説明する。

 ■講演5　   「Transparent surface films analysis using the ZYGO Nexview™ interference microscope」            
          Zygo Corporation, Senior Reserch Scientist, Martin Fay

【概要】
Zygo社の開発している、透明膜表面解析のための最新の技術トピックスを紹介する。

＜懇親会＞     CANON S TOWER 28階　SHINAGAWA CLUBにて     （17:30～）

＜プレセッション＞　 　（10:20～11:40）
本講演会の開演に先立ち、Zygo製品の活用方法や技術理論に関する4テーマを取り上げたプレセッションを開催します。興味のある2テーマ、もしくは1テーマを選んで参加いただけます。

【第一部： 10:20～10:50】
■ルーム1「Mx解析手法」
　NewView8000シリーズやVerifireシリーズに搭載されている、最新の解析ソフトウェアMxの基本的な操作方法を解説。

■ルーム2「MetroPro解析手法」
　従来モデルの解析ソフトウェアである、MetroProの基本的な操作方法を解説。

■ルーム3「干渉計測の基礎理論」
　NewViewシリーズやVerifireシリーズで採用されている、干渉技術に関わる基礎的な理論の解説。

■ルーム4「産業機器取扱製品のご紹介」
　部品の直接出力が可能な“最新金属３Dプリンター”
　レーザー微細穴開け加工用“高精度レーザ穴あけスキャンヘッド”

【第二部：11:00～11:40】
第一部と同じ内容で開催します。

※  各プレセッション終了後に10分ほど当社サービス商品を紹介をします。

※　内容は、予告なく変更する場合がございますので、あらかじめご了承ください。

■「Zygo Metrology Seminar」ホームページ
 http://cweb.canon.jp/indtech/zygo/seminar/index.html
ページ中段の申込みフォームより入力をお願いします。
※定員に達し次第締め切らせていただきます。

＜開催概要＞                            
・ 開催日時：2016年11月16日（水）13:00～17:00
・ 定　員　：120名（完全予約制）
・ 入場料　：無料
・ 主　催　：キヤノンマーケティングジャパン株式会社
　　　　　　 Zygo corporation
・ 会　場　：キヤノンマーケティングジャパン株式会社　本社3階　キヤノンホールS
　　　　　　 東京都港区港南2-16-6

＜お問合せ先＞
ZYGO販売課　セミナー担当
TEL: [phone]

＜過去のZYGO Metrology セミナー ＞    
これまで行われたZYGO Metrologyセミナーの情報を掲載しています。
http://cweb.canon.jp/indtech/zygo/seminar/archive.html