MEMSセンサの生産能力を1日当り300万個以上に増強
MEMSセンサの製造力を強化し、モーション検知の革命をさらに促進
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エレクトロニクス分野の多種多様なアプリケーションに半導体を提供する世界的
半導体メーカーで、コンスーマ・携帯型機器向けMEMS
（Micro-Electro-Mechanical System）の主要サプライヤ(1)であるSTマイクロ
エレクトロニクス（NYSE：STM、以下ST）は、高性能かつコスト競争力の高い
MEMSセンサに対する急速な需要拡大を受け、2011年末までにMEMSセンサの
生産能力を1日当り300万個以上へと大幅に増強します。
STのグループ・バイスプレジデント兼MEMS・センサ・高性能アナログ事業部
ジェネラル・マネージャであるBenedetto Vignaは、次の様にコメントしていま
す。「STはMEMSセンサのコンスーマ機器への搭載を推し進めており、市場を
リードし続けることが当社の使命であると考えています。医療・産業・自動車と
いった成長率の高い分野におけるMEMSセンサのさらなる普及が予測される中、
STは製造力の強化に努めています。STは、生活のあらゆる場面にMEMSセンサを
浸透させる上で最適な地位を構築しています。」
2006年、STは大手サプライヤとして世界で初めて8インチ・シリコン・ウェハに
よるMEMSセンサの生産を開始しました。この思い切った移行が製品単価を大幅に
低減し、既存アプリケーションの拡大と新たな応用分野の開拓を同時に加速しま
した。STのMEMSセンサの主要製造拠点は、センサ素子を製造するアグラテ工場
（イタリア）とカターニャ工場（イタリア）、ASICを製造するルッセ工場
（フランス）とクロル工場（フランス）、そして組立・テストを行う
キルコップ工場（マルタ）とカランバ工場（フィリピン）です。
STのMEMSセンサは、業界をリードする自社開発の製造プロセスを採用しています。
加速度センサとジャイロ・センサに使用されている表面マイクロマシニング・
プロセス「THELMA：Thick Epi-Poly Layer for Microactuators and
Accelerometers」は、厚さの異なるポリシリコン層を組み合わせて構造および
配線を形成するものです。これにより、直線運動と回転運動をそれぞれ検知する
メカニカルな素子を１つのチップに集積することが可能になり、コストとサイズ
の大きなメリットを顧客に提供します。これと相補的な関係にあるプロセス
「VENSENS：Venice Sensor」は、単結晶シリコンの中に空洞を集積することによ
り、サイズと性能の面で優れた特性を備えた超小型の圧力センサを製造できます。
MEMSの需要が増加する中、サプライヤにとってスループットを高めることが大き
な課題の1つであり、成功の鍵となっています。STの最新のMEMS組立・テスト
プラットフォームは、大量の製品の並列処理と個々の製品に対する一定で再現
可能な試験条件の両方を提供することが可能で、全体的な生産性が大幅に向上し
ます。
現在まで、STのMEMSセンサは、スマートフォン、タブレット、携帯型メディア・
プレーヤ、ゲーム機器、デジタル・カメラ、リモート・コントローラを含む多く
のコンスーマ機器において、動きで作動するユーザ・インタフェースを実現して
きました。PCメーカーはノートPCのHDDを自由落下から保護するためSTの加速度
センサを広く採用しており、車載機器メーカーはエア・バッグや先端
ナビゲーション・システム等のアプリケーションにSTのMEMSを使用しています。
(1) IHS iSuppli：「H2 2010 Consumer and Mobile MEMS Market Tracker」、
2011年1月
STマイクロエレクトロニクスについて
STマイクロエレクトロニクスは、多種多様な電子機器向けに革新的な半導体
ソリューションを提供する世界的な総合半導体メーカーです。STは、高度な技術
力と設計ノウハウ、そして幅広いIP（Intellectual Property）ポートフォリオ、
戦略的パートナーシップ、大規模な製造力を駆使することにより、
マルチメディア・コンバージェンスとパワー・アプリケーションにおいて他社の
追随を許さないリーダーとなることを目指しています。2010年の売上は103.5億
ドルでした。
さらに詳しい情報はSTのホームページをご覧ください。
ST日本法人: http://www.st-japan.co.jp
STグループ（英語）: http://www.st.com
◆ お客様お問い合わせ先
〒108-6017 東京都港区港南2-15-1
品川インターシティA棟
STマイクロエレクトロニクス（株）
APMグループ
TEL：03-5783-8250 FAX：03-5783-8216
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エレクトロニクス分野の多種多様なアプリケーションに半導体を提供する世界的
半導体メーカーで、コンスーマ・携帯型機器向けMEMS
（Micro-Electro-Mechanical System）の主要サプライヤ(1)であるSTマイクロ
エレクトロニクス（NYSE：STM、以下ST）は、高性能かつコスト競争力の高い
MEMSセンサに対する急速な需要拡大を受け、2011年末までにMEMSセンサの
生産能力を1日当り300万個以上へと大幅に増強します。
STのグループ・バイスプレジデント兼MEMS・センサ・高性能アナログ事業部
ジェネラル・マネージャであるBenedetto Vignaは、次の様にコメントしていま
す。「STはMEMSセンサのコンスーマ機器への搭載を推し進めており、市場を
リードし続けることが当社の使命であると考えています。医療・産業・自動車と
いった成長率の高い分野におけるMEMSセンサのさらなる普及が予測される中、
STは製造力の強化に努めています。STは、生活のあらゆる場面にMEMSセンサを
浸透させる上で最適な地位を構築しています。」
2006年、STは大手サプライヤとして世界で初めて8インチ・シリコン・ウェハに
よるMEMSセンサの生産を開始しました。この思い切った移行が製品単価を大幅に
低減し、既存アプリケーションの拡大と新たな応用分野の開拓を同時に加速しま
した。STのMEMSセンサの主要製造拠点は、センサ素子を製造するアグラテ工場
（イタリア）とカターニャ工場（イタリア）、ASICを製造するルッセ工場
（フランス）とクロル工場（フランス）、そして組立・テストを行う
キルコップ工場（マルタ）とカランバ工場（フィリピン）です。
STのMEMSセンサは、業界をリードする自社開発の製造プロセスを採用しています。
加速度センサとジャイロ・センサに使用されている表面マイクロマシニング・
プロセス「THELMA：Thick Epi-Poly Layer for Microactuators and
Accelerometers」は、厚さの異なるポリシリコン層を組み合わせて構造および
配線を形成するものです。これにより、直線運動と回転運動をそれぞれ検知する
メカニカルな素子を１つのチップに集積することが可能になり、コストとサイズ
の大きなメリットを顧客に提供します。これと相補的な関係にあるプロセス
「VENSENS：Venice Sensor」は、単結晶シリコンの中に空洞を集積することによ
り、サイズと性能の面で優れた特性を備えた超小型の圧力センサを製造できます。
MEMSの需要が増加する中、サプライヤにとってスループットを高めることが大き
な課題の1つであり、成功の鍵となっています。STの最新のMEMS組立・テスト
プラットフォームは、大量の製品の並列処理と個々の製品に対する一定で再現
可能な試験条件の両方を提供することが可能で、全体的な生産性が大幅に向上し
ます。
現在まで、STのMEMSセンサは、スマートフォン、タブレット、携帯型メディア・
プレーヤ、ゲーム機器、デジタル・カメラ、リモート・コントローラを含む多く
のコンスーマ機器において、動きで作動するユーザ・インタフェースを実現して
きました。PCメーカーはノートPCのHDDを自由落下から保護するためSTの加速度
センサを広く採用しており、車載機器メーカーはエア・バッグや先端
ナビゲーション・システム等のアプリケーションにSTのMEMSを使用しています。
(1) IHS iSuppli：「H2 2010 Consumer and Mobile MEMS Market Tracker」、
2011年1月
STマイクロエレクトロニクスについて
STマイクロエレクトロニクスは、多種多様な電子機器向けに革新的な半導体
ソリューションを提供する世界的な総合半導体メーカーです。STは、高度な技術
力と設計ノウハウ、そして幅広いIP（Intellectual Property）ポートフォリオ、
戦略的パートナーシップ、大規模な製造力を駆使することにより、
マルチメディア・コンバージェンスとパワー・アプリケーションにおいて他社の
追随を許さないリーダーとなることを目指しています。2010年の売上は103.5億
ドルでした。
さらに詳しい情報はSTのホームページをご覧ください。
ST日本法人: http://www.st-japan.co.jp
STグループ（英語）: http://www.st.com
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品川インターシティA棟
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