OKI、高精度地震動予測装置をルネサス川尻工場に納入

独自のP波解析技術により数百ms（ミリ秒）で地震危険度を判定し装置停止信号出力

 

ルネサス川尻工場

OKIグループで信頼性評価と環境保全の技術サービスを展開するOKIエンジニアリング（社長：橋本 雅明、本社：東京都練馬区、以下OEG）は、半導体メーカーであるルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング株式会社（社長：小澤 英彦、本社：茨城県ひたちなか市）川尻工場（所在地：熊本県熊本市、以下 ルネサス川尻工場）に高精度地震動予測装置「KXA-300X」を納入し、11月より本格稼働しました。

「KXA-300X」は、気象庁から発信された緊急地震速報の情報と、工場内に設置する複数の地震計のP波(注1)波形情報を解析し、大きな揺れとなるS波(注2)の大きさおよび到達時間を予測して生産設備へ停止信号を送信する装置で、大きな揺れになる前に工場の設備を停止させることにより被害を軽減し、製造業事業者の事業継続に寄与します。

ルネサス川尻工場は、ウェハー加工を行う半導体前工程製造事業を担っています。地震による被害を受けると高額な装置の修理にかかる費用だけでなく、復旧までの数ヵ月以上におよぶリードタイム損失などの大きな影響があります。今回は、半導体製造工程において、ウェハーの電気的検査装置として工場内に多数あるブローバ装置を保護する目的で「KXA-300X」を導入しました。プローバ装置は、「KXA-300X」から出力される制御信号により強制終了を行い、装置の破損と復旧までのリードタイム損失を最小限にとどめます。

OEGの高精度地震動予測装置「KXA-300X」は、工場にP波が到達してから、解析・危険度判定を行い、制御信号を出力するまでを300～800msという短時間で行うことから、緊急地震速報が間に合わない直下型地震にも効果を発揮します。その後更新されるP波情報の解析結果も500ms毎に危険度判定を行い、瞬時に制御信号を出力します。また、工場に設置した複数台の地震計のうち、2台以上でP波が到達したかどうかの判定を行うことにより、誤検知を防ぐ仕様となっています。なお、緊急地震速報は、インターネット回線経由に加え衛星回線経由でも受信が可能で、解析を行うサーバーも二重化することで、工場の設備に確実に制御信号出力ができる、高い信頼性を確保しています。

OEGは、今後も「KXA-300X」の装置性能の向上を図り、国内の工場などへの展開を拡大していきます。

高精度地震動予測装置「KXA-300X」の主な仕様
基本機能：
緊急地震速報、現地地震計観測P波から最大S波を解析し総合危険度判定実施
直下型地震にも対応、P波検知から制御信号出力まで300～800ms
対象用途：
館内放送設備への放送トリガー出力、半導体製造ガスの遮断トリガー出力、
半導体製造装置およびウェハー検査装置等の停止トリガー出力など

ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング社について
社名：ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング株式会社
本社：茨城県ひたちなか市
社長：小澤 英彦
資本金：1億円（ルネサス エレクトロニクス株式会社100%出資）
会社設立日：1983年7月1日＜関西日本電気株式会社＞
　　　　　　営業開始日2014年4月1日＜ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング株式会社発足＞
事業内容：電子部品、電気部品等の製造販売＜集積回路の前工程製造＞
URL：https://www.renesas.com/jp/ja/

用語解説
注1：P波
Primary wave（第一波）またはPressure wave（圧力波）の略。
地震発生時に進行方向に平行に振動する弾性波。岩盤中で5～7km／sの速度で伝搬する、地震発生後に最初に到達する地震波。

注2：S波
Secondary wave（第二波）またはShear wave（ねじれ波もしくは剪断波）の略。
地震発生時に進行方向と直角に振動する弾性波。岩盤中で3～4km／sで伝搬する、P波に続いて到達する「主要動」と呼ばれる大きな揺れ。

リリース関連リンク
「高精度地震動予測装置」紹介サイト
https://www.oeg.co.jp/env_sys/Earthquake.html
 

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