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スパッタ法を用いて高品質なScAlN薄膜の作製に成功 ～成長温度の系統的変化が構造特性と電気特性に及…
2025年8月8日 13時00分
東京理科大学
10月26日(木) AndTech「積層セラミックコンデンサ（MLCC）の 大容量化・小型化に向けた…
2023年9月29日 14時52分
AndTech
東京理科大学