【ナノレベルの異物を見える化！】リアルタイムで微粒子を可視化 半導体・二次電池の生産効率向上を実現する「微粒子可視化システム」
”異物の課題に挑む新たなソリューション” 微粒子の発塵源の特定から浮遊・堆積・再飛散まで各プロセスを見える化「微粒子可視化システムPV2 series」
半導体、精密機器、電子部品から食品や薬品など各分野でのクリーンルームでは、微粒子による異物の付着が歩留まりに直結します。微粒子可視化システム「PV2 series」では、可視化による異物の課題解決を提案します。
微粒子可視化システム「PV2 series」とは？
クリーンルームにおいて…
作業環境に浮遊する微粒子の量はどれくらいか？
異物はどこから流入してくるのか？
発塵源はどこ？
PV2 seriesでは目視で確認できない異物を見える化することで、改善策を打ち立てることができます。清浄度改善の作業効率を高め、最適な環境を構築できます。
可視化事例｜FFUからの落下塵0.3マイクロを可視化
動画の内容
クラス1000環境でFFU直下の位置に微粒子可視化システムを配置。落下する微粒子を可視化しています。
パーティクルカウンターと同時計測で、可視化できる粒径を計測しています。
微粒子可視化システムの画像処理と計測機能
▷【粒子数をカウント】発塵のタイミングを簡単に分析
オフラインの計測機能として、微粒子の数を画像からカウントできます。さらに時系列グラフ表示で、現象動画と同期再生が可能です。
発塵のタイミングを簡単に分析できます。
▷【リアルタイム画像処理】見えにくい微粒子もクリアに！
リアルタイム画像処理技術で、超高感度に微粒子を撮影できます。見えにくい粒子像もクリアに表示することができます。「スルー」「軌跡」「強調」の3モード切り替えで、現象に応じた最適な可視化が可能です。
また「擬似カラー」表示で、浮遊する粒子の挙動がよりわかりやすく把握できます。画像処理の内容、カメラ設定はファイルで保存、読み込み可能で、現象に応じた一貫した処理が行えます。
システム構成
【※必要なものがすべて揃ったオールインワン構成】
構成
・赤色レーザーシート光源
・AngleUnit（レーザー照射角度可変ユニット）
・専用高感度カメラ
・カメラレンズ
・接写リング
・光学フィルター
・保護メガネ
・三脚×2（レーザー光源用、カメラ用）
・ノートPC
・微粒子可視化用ソフトウェア「Particle Viewer」
・専用ケース
仕様
【レーザー光源】
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光源 |
赤色半導体レーザー：3Wモデル / 5Wモデル |
|---|---|
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波長 / 発振形態 |
638nm（CW：連続発振） |
【専用高感度カメラ】
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有効画素数 |
310万画素 |
|---|---|
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イメージセンサー |
モノクロCMOS1/1.8型 |
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インターフェース |
USB3.0 |
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フレームレート |
120,60,10,5,1fps（310万画素で撮影時） 170,80,10,5,1fps（170万画素で撮影時） 360,180,10,5,1fps（30万画素で撮影時） |
【微粒子可視化専用ソフトウェア「Particle Viewer」】
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画像処理（リアルタイム） |
①スルーモード ②軌跡モード ③超高感度モード ▷ROI設定 ▷差分による背景処理 ▷ノイズリダクションフィルタ ▷凸部抽出 |
|---|---|
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画像処理（オフライン） |
▷リアルタイム処理の再現 ▷ROI設定 ▷Pseudo-color表示 ▷ノイズリダクションフィルタ ▷凸部抽出 |
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計測（オフライン） |
▷粒子数カウント（二値化、自動判定、グラフ表示） ▷キャリブレーション機能 ▷CSV出力 ▷移動量算出（簡易手動計測） |
※こちらも併せてご参考ください
カトウ光研株式会社
WEBサイト：https://www.kk-co.jp/
YouTubeチャンネル：https://www.youtube.com/@KatoKoken
カトウ光研は、可視化計測技術のパイオニアとして、目に見えない現象を科学的に明らかにする製品・サービスを提供しています。 可視化に特化した技術と製品群でお客様の研究開発や課題解決を強力にサポートしています。
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