名大発ベンチャー、Photo electron Soulが 半導体検査装置メーカーから受注獲得

検査時間の大幅な圧縮につながる、nAオーダーのプローブ電流を実現

　名古屋大学発ベンチャー企業である、株式会社Photo electron Soul（本社：愛知県名古屋市、代表取締役：鈴木孝征、以下Photo electron Soul）は、半導体検査装置メーカーから電子ビーム生成装置を受注しました。
　また、同メーカーと共同で実施している実機評価において、少なくとも従来の10倍以上高いプローブ電流(nAオーダー)を実現しました。これは、半導体製造の現場で深刻な問題となっている検査時間を大幅に圧縮することにつながります。

■半導体検査装置メーカーから受注獲得
半導体製造の現場では、微細化と多層化の進展によって、既存技術による検査方法では多くの時間を要することが深刻な問題となっています。半導体検査装置メーカー各社は、検査時間を短縮すべく、多額の開発資金を投じ、様々な方法にて試行錯誤を続けていますが、未だ決定的な解決方法はありません。

半導体製造に限らず、電子ビーム技術は幅広い産業に利用されています。しかし、過去50年間、産業用途において技術革新が起きておらず、従来の電子ビーム技術は性能向上の限界を迎えています。名古屋大学発ベンチャー企業であるPhoto electron Soulは、独自の革新的な電子ビーム技術によって産業界の課題を根本的に解決すべく、「電子ビーム生成装置」を開発しており、この度、共同で実機評価を実施している半導体検査装置メーカーから電子ビーム生成装置を受注しました。

■検査時間の大幅な圧縮につながる、nAオーダーのプローブ電流を実現
Photo electron Soulは、半導体検査装置メーカーと共同で実施している実機評価において、少なくとも従来の10倍以上高いプローブ電流(nAオーダー)を実現しました。電子ビーム方式による半導体検査では、プローブ電流を高めることで電子ビームスキャン速度を向上させることができます。これは、半導体製造の現場で深刻な問題となっている検査時間を大幅に圧縮することにつながります。

なお、発注元である半導体検査装置メーカーの社名、所在地、受注価格および受注台数は、製品開発上の機密保持の観点から公開していません。

■Photo electron Soulについて
Photo electron Soulは、名古屋大学で30年以上にわたり培われてきた技術を基盤とした、名古屋大学発ベンチャー企業であり、電子ビーム生成技術である「半導体フォトカソード技術」に大きな強みを持つ世界で唯一の企業です。Photo electron Soulは、アカデミアで長年培われた電子ビーム技術をコアに、複数の異なる技術分野を融合させた製品・サービスを創出することで、電子デバイス～モノづくり～ライフサイエンスなどの幅広い産業分野に大きな革新を起こしていきます。
【URL】http://photoelectronsoul.com/
 

Photo electron Soul　電子ビーム生成システム