株式会社パンソリューションテクノロジーズの持分法適用関連会社化について

次世代エレクトロニクスの技術革新に貢献

日本材料技研株式会社（本社：東京都中央区、代表取締役社長 浦田 興優、以下「JMTC」）は、2021年8月16日付で、半導体材料検査装置の開発・製造・販売を行う株式会社パンソリューションテクノロジーズ（本社：宮城県仙台市、代表取締役社長 松島 悟、以下「PSTS社」）の第三者割当増資を引き受ける投資契約を締結し、同社を持分法適用関連会社とすることにいたしました。

PSTS社は、東北大学金属材料研究所の藩伍根博士等の研究成果を事業化した、ファブレス型半導体材料検査装置メーカーです。PSTS社では、半導体結晶基板の品質を瞬時に測定できる新たな評価手法である「HS-CMR法」を用いた、半導体ウェハー検査装置の開発・製造・販売を行っています。PSTS社は、既に太陽電池用シリコンウェハーの品質を測定する装置を製品化しておりますが、さらにシリコン半導体や化合物半導体などのウェハー測定技術も開発を進めています。「HS-CMR法」を用いた測定技術の提供を通じて、半導体製造において深刻な問題となっている品質のばらつきや生産効率を改善し、半導体製造の高効率化・低コスト化・高品質化を目指します。
 

 

 

 

「HS-CMR法」による測定原理

シリコンウェハー有効キャリア測定装置

 JMTCは、ファブレス型機能材料メーカーとして、次世代エレクトロニクス産業において求められる革新的材料の事業化に取り組んでいます。一方で、次世代エレクトロニクス産業の発展に向けては、材料技術のイノベーションと同時に、デバイスの製造や検査に用いられる装置のイノベーションも不可欠です。JMTCグループでは、今回のPSTS社の株式取得によりデバイス製造・検査装置についても新たな事業ドメインと位置づけ、機能材料事業とあわせたオンリーワン製品群の提供により次世代エレクトロニクス産業の技術革新に貢献する企業グループへの成長を目指します。