ボールウェーブが-90℃までリアルタイムにモニタリング可能な露点計を新たにラインナップ

ボールウェーブ株式会社(本社:宮城県仙台市、代表取締役:赤尾慎吾)は、お客さまよりご要望の高かったミドルレンジの微量水分計を新たにラインナップに加えました。
本製品FalconTrace Platinum(FT-400WT)は露点 -90℃(0.1ppmv)まで測定可能で、低露点からの微量水分の上昇を1秒で測定できる高速応答性を有します。これまで測定が難しかった産業ガス中の水分子量が短時間に変化する様子を、インラインでリアルタイムに把握することができるようになりました。お客さまの品質モニタリングツールとして製品開発や製造にお役立て下さい。
2020年11月吉日
ボールウェーブ株式会社
 半導体デバイスの急速な高集積化・微細化に伴って、製造工程で使用される材料ガスの残量水分を1ppmv以下に抑える事が要求されています。 しかし、これまでの微量水分計は応答速度が遅く製造ラインの品質管理には不十分でした。
 FalconTrace Platinumはボールウェーブのコアテクノロジーである「ボールSAWセンサ※1」を用いた微量水分計です。ボールSAWセンサは、これまでの物理学の常識を超えた球上のSAW の長距離伝搬現象を利用した高速・ 高感度なガスセンサであり、センサ本体が直径 3.3mmの小さな水晶球であるため、半導体製造ライン、リチウムイオン電池製造ラインなどに容易に導入することができます。またセンサ本体の応答速度が速くセンサセルの体積も小さいため、水分量の変動にも1秒以内で反応し正しい値をモニタすることができます。

FalconTrace Platinum FT-400WTFalconTrace Platinum FT-400WT

 当社の微量水分計「FalconTraceシリーズ」は、ppmv(100万分の1)からppbv(10億分の1)オーダーの微量水分が計測可能です。高速・高性能版「FalconTrace」と、小型で製造工程に容易に導入可能な「FalconTrace mini」の二製品に加えて、今回新たにミドルレンジモデルとなる「FalconTrace Platinum」をラインナップして、産業ガス、半導体製造装置およびリチウムイオン電池メーカー等、様々な製造業に対して受注を開始致しました。

 

 

 当社は、工業用の微量水分計のみならず、測定レンジの広い水素ガスセンサやFIDと同等な感度を持つランチボックスサイズのガスクロマトグラフの開発を通して、水素社会や環境の安全・安心に寄与しガス計測の革新を目指しています。

 

■ボールウェーブ株式会社について
 当社は、東北大学発技術シーズであるケミカルセンサ※2「ボールSAWセンサ」を用いて、微量水分や多種類のガスを高速・高感度にセンシングすることで、安全・安心・クリーンで持続可能な社会の実現を目指す大学発ベンチャー企業です。水晶球が持つ高温・高圧耐性、高耐食性に加え、従来技術と比較して約100倍の高感度と高速応答性を備えるボールSAWセンサを搭載する微量水分計やガスクロマトグラフなどの開発・製造・販売を行っています。

※1 球状弾性表面波(SAW: Surface Acoustic Wave)を用いたセンサ
※2 物質の化学変化を捉えるためのセンサ技術

 

ボールウェーブ株式会社概要】
代表者名及び役職名: 代表取締役社長 赤尾慎吾
本社住所:(〒980-8579)宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-40 T-Biz 501号
電話番号: 022-302-6659 FAX番号: 022-302-6709
ホームページ:http://www.ballwave.jp

本件に関するお問い合わせ先:
東京オフィス 営業部
住所:〒170-6045 東京都豊島区池袋3-1-1 サンシャイン60ビル 45階
電話番号:03-5979-2357
E-mail: info@ballwave.jp

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