台湾、中国、および周辺のアジア太平洋地域において半導体産業専用のボールウェーブ微量水分計をTRUSVAL Technologyが販売開始

ボールウェーブとTRUSVAL Technologyは、最先端の半導体工場でバルクガスおよび特殊ガスを供給しながらガス中の微量な水分をオンライン監視できる特殊ガスキャビネットを共同開発しました。

ボールウェーブ株式会社（本社：宮城県仙台市（日本）、代表取締役：赤尾慎吾）とTRUSVAL Technology Co., Ltd.（本社：苗栗県竹南鎮（台湾（中華民国））、総支配人：Mr. Eric Chien）は、台湾、中国、およびその他のアジア太平洋地域の一部における半導体産業用途に向けたボールウェーブの微量水分センサの独占販売代理店契約について合意しました。

微量水分計は、ボールウェーブが保有するボールSAW技術を応用したセンサの1つです。ボールSAWは固体球上を広がることなく伝播する弾性表面波（SAW：surface acoustic wave）であり、極めて高い感度と非常に高速な応答時間を可能にします（図1）。ボールウェーブの微量水分計製品群は、ボールSAWの特性を測定することで多様なバックグラウンドガス中の微量水分量を決定するための回路とソフトウェアを内蔵しています。
http://ballwave.jp/english/images/ft_catalog_en.pdf

図1 ボールSAW技術による微量水分センサ

TRUSVAL Technologyはガス/ケミカル設備のメーカーで、半導体産業を専門とするシステム統合エンジニアリング企業です。TRUSVAL Technologyが市販するIQCシステムは、ガスボンベから供給されるバルクガスおよび特殊ガス中の微量水分量をオンライン監視するために、ボールウェーブの微量水分計を搭載したガスキャビネットです（図2）。

図2 TRUSVAL Technologyの製品

最先端半導体工場で使用される特殊ガス中の水分量を極めて低いレベルに保つために、両社はボールウェーブの微量水分計を内蔵した多様なガス供給システムへ事業を拡大することに合意しています。

半導体産業で用いられる特殊ガスおよび腐食性ガス中のppbからppmレベルの微量水分をインラインで監視することが初めて可能になりました。これは、最先端のマイクロチップを安定的に製造するためには不可欠な技術です。


用語解説
1. 最先端半導体産業：半導体市場は、携帯電話、ノートパソコン、サーバー、自動車、スマートホーム、ゲーム機、ウェアラブル製品、およびWi-Fiアクセスポイントに牽引され、2021年は17％を超える成長が見込まれています。
2. 半導体産業用特殊ガス：半導体の製造工程では、AsH3/H2、Cl2、GeH4/H2、HFなどの多様な反応性ガスを用いたエッチングや成膜を必要とします。
3. 半導体産業における微量水分：半導体製造に使用されるガス中の不純物、特に残留水分の低減は必須です。

4. ボールSAWセンサ：球面上を伝播し、横方向に拡がらずに繰り返し周回する弾性表面波（SAW：surface acoustic wave）を利用するセンサ。ボールSAWセンサは、ボールウェーブに独占所有権のある知的財産で構成されています。

問い合わせ先
ボールウェーブ株式会社
経営戦略本部 
電話番号：[phone]
Eメール：tsukahara*ballwave.jp（*を@に置き換えてください）
http://ballwave.jp/english/index.html
TRUSVAL Technology Co., Ltd.（信紘科技股份有限公司）
Administration Department
電話番号：[phone]
Eメール：IR*trusval.com.tw（*を@に置き換えてください）
https://www.trusval.com.tw/index_en