堀場エステック「京都福知山テクノロジーセンター」の新棟が本格稼働

～半導体プロセス制御の進化に貢献、最先端技術をリードする新拠点～

株式会社堀場製作所

2025年12月18日 13時00分

HORIBAグループの半導体事業を手掛ける株式会社堀場エステック（京都市南区上鳥羽鉾立町11-5、代表取締役社長堀場弾）は、研究開発拠点である「京都福知山テクノロジーセンター」に増設した新棟が本格稼働を開始したことを発表いたします。

2013年にグループ初の研究開発専用施設として開設した京都福知山テクノロジーセンターは、

気体の質量流量※1校正において国際規格ISO/IEC 17025※2認定を取得し、主力製品であるマスフローコントローラー（以下、MFC）などの品質向上に寄与してまいりました。

今回の新棟増設により、気体流量校正設備と液体気化実験設備の処理能力をそれぞれ２倍へと拡張しました。これまでよりも幅広い測定域での試験・校正を実現することで、最先端の半導体プロセスで求められる新材料への対応を強化するとともに、中長期視点でさらなる生産能力強化を検討する際の大きな支えとなる体制が構築できました。

さらに、新棟最大規模のエリアとして、先進技術の活用を推進するエンジニアリング室を新設しました。本施設で行う研究成果をもとに、HORIBAグループが有する高度なデータマネジメント技術を活用した精緻なデジタルツイン※３モデルの構築を推進し、MFCのさらなる高機能化および開発スピードの向上に貢献してまいります。

また、隣接地に建設中の京都福知山工場（2026年春稼働予定）と連携し、本施設で生み出す先端技術を早期に実装するシナジーにも取り組み、半導体事業の拡大と成長をめざします。

【増設の内容】

１.現有機能の拡大による研究開発体制の強化

気体流量校正設備の処理能力を２倍へと強化し、微小流量および大流量域における試験・校正への対応力を高めることで、MFCのみならず他分野への応用拡大も見据えます。

さらに、最先端の半導体製造プロセスに使用される新たな液体・固体材料に対応すべく、液体気化実験設備の処理能力を約2倍に強化。その他の実験エリアも拡張し、多様化するプロセスやアプリケーションに対応力を高めます。

2.既存製品強化・新製品開発を加速させる実験室の新設

■プラズマ実験室

プラズマを発生・計測・制御する技術の研究を推進し、半導体製造装置のプロセスチャンバーのクリーニングや低ダメージプロセス開発など新たな領域への展開を図ります。

また、今後の重要領域の一つとして、HORIBAが保有する各種プロセスモニタリング技術と組み合わせることで、新たなプラズマアプリケーションの研究開発や新製品開発を加速させます。

■エンジニアリング室

高速かつデジタル化されたMFCから得られる膨大な実験・稼働データをHORIBA独自のデータマネジメントシステムで収集し、これまで計測が難しかった領域の流量や部品の劣化度合い、寿命などを予測するデジタルツインモデルの確立をめざします。

さらに、ホリバ・インスツルメンツ社（米国）の「HORIBA Reno Technology Center」や、車両開発エンジニアリングと試験事業などを展開するホリバMIRA社（英国）をはじめとする各社と連携を図ることで、デジタルツインモデルの最適化を図り、HORIBA全体への技術展開と新たな価値創出を推進します。

3. 環境負荷低減に貢献する新ビジネス創出を推進

半導体製造プロセスでは、SF₆（六フッ化硫黄）などの温室効果ガスが使用されています。そのため、MFCの研究開発においても同様のガスを扱うことから、除害設備によるガスの無害化に取り組んできました。今後は、HORIBAが培ってきたガス計測・分析の知見を活かし、除害設備の分解性能をより正確に把握できる計測装置の独自開発に取り組み、新たなビジネスの創出もめざします。これにより、環境負荷低減に配慮した半導体製造プロセスの実現に貢献します。

4.イノベーションを促進する拠点への進化

開放感のある吹き抜けや採光性の高いテラスなど、意匠と機能を両立したデザインを取り入れました。多目的スペースとして活用できるカフェテリアも備えるなど、快適かつ意欲的に働くことのできる環境を整備しています。また、協業に向けたラボスペースを新設し、産学官・企業間連携への新たなイノベーションの創出を促進します。

さらに、本施設の拡張と京都福知山工場の立上げに伴い、研究開発から生産までを一体で担う新たな拠点として、地域の雇用創出と人財※4定着に貢献します。

※1 単位時間あたりに、与えられた面を通過する流体の質量

※2 試験所や校正機関が実施する試験・校正の技術的能力および品質管理体制について定めた国際規格であり、この規格に適合することで、試験結果の正確性や信頼性が国際的に保証される

※3 物理現象を高精度に再現する仮想モデルを用いた解析・最適化技術

※4 HORIBAでは、従業員を大切な財産と考えて「人財」と表現しています

【施設概要】

名称	堀場エステック京都福知山テクノロジーセンター
開設	2013年12月
所在地	京都府福知山市三和町みわ11番1
敷地面積	9,457 m²
延床面積	5,642 m²（2階建て）（増設前比で約４倍）
着工	2024年3月
投資総額	約40億円
従業員数	35名（2025年12月時点） 2028年に70名の体制をめざし、段階的な増強を進める