リガク、Onto Innovationによる株式27%取得を伴う戦略的提携を開始

～X線・光学・AIの融合により半導体分野で事業機会を拡大～

リガク・ホールディングス株式会社（本社：東京都昭島市 代表取締役社長：川上 潤、以下「リガク」）は、本日Onto Innovation Inc.（本社：米国マサチューセッツ州、CEO：Michael P. Plisinski、以下「Onto Innovation」）と資本業務提携契約を締結しました。本提携は、リガクの成長の要である半導体プロセス・コントロール事業の強化を目的とするものです。リガクのX線技術と、Onto Innovationの光学計測および解析ソフトウェアの技術を補完的に融合することで、次世代半導体に対応した計測ソリューションの高度化と事業領域の拡張を図ります。

すでに両社は、リガクのCD-SAXSとOnto Innovationの解析ソフトウェアを組み合わせたハイブリッド計測の共同開発に取り組んでおり、本提携によりその協業をさらに発展させます。

■ 本提携のポイント

•成長戦略との整合性：半導体プロセス・コントロール事業を軸としたリガクの成長戦略を直接的に強化 

•高い技術補完性：リガクのX線技術と、Onto Innovationの光学計測およびAI解析ソフトウェアは相互補完関係 

•業界構造を踏まえた戦略的位置づけ：顧客ニーズの高度化および半導体製造の複雑化が進む市場環境に対応

•競争力の強化：半導体プロセス・コントロール分野における新たなポジションを確立

▲Onto Innovationのモデルベース解析を統合したリガクのX線計測装置「XTRAIA CD- 3200T」

■ 具体的な取り組み

• ハイブリッドメトロロジーの実現（前工程）：X線と光学を組み合わせた計測技術により、微細化・三次元化が進むロジック・メモリ半導体への対応力を強化 

• 先端パッケージング領域への展開：検査・計測分野への本格的な事業拡張を加速 

• 新市場の創出：協業により、2030年にリガク製品で少なくとも3億ドル規模の新市場創出を目指す 

• ソフトウェア・AIの取り込み：リガクの技術とOnto Innovationの解析ソフトウェアの統合により、計測から解析、さらに顧客プロセスのイールドマネージメントまで一体化したソリューション構築に貢献 

• 顧客基盤の拡張：Onto Innovationのグローバル顧客基盤を活用し、リガク製品の展開を加速

 ■資本提携の概要

Onto Innovationは、Atom Investment, L.P.が保有するリガク株式の一部、61,123,436株（自己株式を除く当社発行済株式総数に対する比率：27%）の取得について最終合意書を締結しました。これにより、両社は中長期的な協業を前提とした戦略的パートナーシップを構築します。

■ ガバナンス

本提携後も、リガクは上場会社としての経営の自主性・独立性を維持します。また、株式の譲渡および追加取得には一定期間の制限を設け、安定的なパートナー関係を担保します。

本件の詳細は、本日公表の適時開示を当社または東京証券取引所ウェブサイトをご参照ください。

*Onto Innovation Inc.

Onto Innovation Inc.は、半導体プロセス・コントロール分野のリーディングカンパニーであり、グローバルな事業基盤と先端的技術を有しています。技術ポートフォリオには、ノンパターンウエハ品質評価、ナノスケールのトランジスタから大面積ダイの配線に至るまでのチップ構造を対象とした3D計測、ウエハおよびパッケージのマクロ欠陥検査、金属配線の組成分析、ファクトリー・アナリティクス、ならびに先端半導体パッケージング向けリソグラフィを含みます。米国マサチューセッツ州ウィルミントンに本社を置いています。https://ontoinnovation.com/

【リガクグループについて】

リガクグループは、X線分析をコアに熱分析等も含む先端的な分析技術で社会をけん引する技術者集団です。産業・研究用分析のソリューションパートナーとして1951年の創業以来、136の国と地域のお客様と共に成長を続けています。日本国内で極めて高いシェアを誇り、海外売上は約70%に達しています。応用分野は、半導体や電子材料、電池、環境・エネルギーからライフサイエンスまで日々拡大中です。世界で2,000名超の従業員が「視るチカラで、世界を変える」イノベーションの実現に取り組んでいます。詳しくはrigaku-holdings.comをご覧ください。