デジタル出力風量センサ「MMS651シリーズ」を発売

～業界最高水準の測定精度※1で、空調・産業機器の省エネと効率化に貢献～

ミネベアミツミグループのミツミ電機株式会社（以下、ミツミ電機）は、MEMS技術を用いた小型熱式フローセンサにより、業界最高水準の測定精度※1を実現したデジタル出力風量センサ「MMS651シリーズ」を発売開始いたしました。

近年、データセンターのサーバー冷却やスマートビルの空調管理（HVAC/VAV）、クリーンルームのファンフィルターユニット（FFU）などにおいて、エネルギー効率の最適化や厳密な環境維持のために、より高精度な風量/風速管理が求められています。 今回発売する「MMS651シリーズ」は、従来の風量センサ/風速センサと比較して、さらに優れた高精度測定が可能であり、小型パッケージでありながらコネクタ接続を採用することで、設置の自由度を大幅に向上させています。

ラインナップには、クリーンルームのダウンフローなど微風計測に適した「3 m/sタイプ(MMS651P003N1)」と、空調ダクトやファン制御など広範な用途に対応する「10 m/sタイプ(MMS651P010N1)」の2種類を取り揃え、お客様の用途に合わせて最適なソリューションを提供いたします。

 

※1 ミネベアミツミ調べ。同等の小型パッケージ・コネクタ接続型風量センサにおいて。国内・海外の主要風速/風量センサメーカー、風速計メーカー20社の公開WEB情報に基づく調査による。2025年12月時点。

＜特徴・概要＞

1. 業界最高水準の測定精度を実現

超小型MEMS熱式フローセンサチップと補正技術の組み合わせにより、競合他社製品と比較して高い測定精度と温度安定性を実現しました。

• MMS651P010N1(10 m/sタイプ):風速4 m/s以上で±5 %R.D.※2、風速4 m/s未満で±2 %F.S. ※2

• MMS651P003N1(3 m/sタイプ): 風速0.3 m/s以上で±3 %F.S.

• 温度変化に対して、±2 %F.S./10 ℃。

詳細は下記仕様表を参照ください。

2. 業界最小クラス※3の小型パッケージと高い設置自由度

22.5(W) x 21(D) x 7(H) mmという小型サイズを実現。専用の基板や配管を準備することなく、コネクタ接続によりダクトや筐体へ容易に設置・配線が可能です。

3. デジタル出力による容易なシステム統合

インターフェースにはI2Cを採用。センサ内部で高度な補正演算（温度補正・リニアリティ補正）を行い、風速値を直接デジタル値として出力するため、お客様側のマイコン負荷を軽減し、開発期間の短縮に貢献します。

4. 独自の流路設計による高信頼性

センサ内部にメイン流路と測定用の流路を設けた独自構造により、検出部（MEMS）への埃の侵入を低減し、長期的な信頼性を確保しています。

※2 “F.S.”、”R.D.”はそれぞれ”Full Scale”、”Reading”を表す。

  %F.S. :  測定範囲における風速最大値に対する割合

  風速最大値10 m/s、精度±2 %F.S.ならば、誤差は±0.2 m/s以内

  %R.D. : 出力値に対する割合

  精度±5 %R.D.、風速5 m/sを出力していた時、誤差は±0.25 m/s以内

※3 ミネベアミツミ調べ。デジタル出力・コネクタ接続対応のモジュール型風量センサにおいて。国内・海外の主要風速/風量     センサメーカー、風速計メーカー20社の公開WEB情報に基づく調査による。2025年12月時点。

＜主な用途＞

• HVAC（空調システム）、VAV（可変風量装置）

• ファンフィルターユニット（FFU）

• データセンター（サーバー冷却管理）

• フィルタの目詰まり検知

• その他、風量や風速を利用する各種産業機器

＜製品写真＞

デジタル出力風量センサ「MMS651シリーズ」　

＜製品仕様＞

項目	MMS651P010N1	MMS651P003N1
測定範囲	0 m/s to 10 m/s	0 m/s to 3 m/s
精度　※4	±5 %R.D.(4 m/s to 10 m/s) ±2 %F.S.(0 m/s to 4 m/s)	±3 %F.S.(0.3 m/s to 3.0 m/s) ±7 %F.S.(0.0 m/s to 0.3 m/s)
温度変化による影響 ※4	2 %F.S./10 ℃	2 %F.S./10 ℃
電源電圧範囲	3.0 V to 3.6 V	3.0 V to 3.6 V
動作温度範囲	-10 ℃ to 60 ℃	-10 ℃ to 60 ℃
応答速度	< 90 ms.	< 90 ms.
分解能	16 bit	16 bit
インターフェース	I2C	I2C
サイズ	22.5(W) × 21(D) × 7(H) mm	22.5(W) × 21(D) × 7(H) mm

※4 測定条件：25 ℃、101.3 kPaの乾燥空気、Vcc 3.3 V