フラットパネルディスプレイ（FPD）露光装置向けLED照明オプションを発売　生産性向上と環境負荷低減に貢献

キヤノンは、第8世代ガラス基板（※1）に対応したFPD露光装置「MPAsp-H1003H」（2022年7月発売）向けのオプション（※2）として、従来の水銀ランプに代わりLED光源を採用したLED照明オプションを2026年9月上旬に発売します。

MPAsp-H1003H

従来の水銀ランプ方式（左）と比べ、光源ユニットを3基から1基に集約（右）

近年、ディスプレイ製造では、生産性に加えて環境対応も求められています。新たに発売するLED照明オプションは、従来水銀ランプを使用していた「MPAsp-H1003H」の光源にLEDを採用することで、光源の高照度化や長寿命化、消費電力削減に寄与します。キヤノンは今後、LED照明オプションの対応機種拡充や、顧客に導入済みの装置の光源をLEDにアップグレードする有償サービスを進め、新設装置、既設装置どちらにおいても、生産性向上と環境負荷低減に貢献していきます。

■ 高照度化によるタクトタイム短縮と約20倍の光源長寿命化により生産性向上に貢献

LED光源の採用により、従来の水銀ランプに比べて、照度を40％以上（※3）向上させ、タクトタイムの短縮が可能です。また、従来3基必要だった光源ユニットを1基に集約しました。さらに、光源の寿命が、従来の1,000時間から20,000時間（※4）に延びました。光源交換の頻度を抑えることで、交換作業に伴う装置停止時間の低減を図り、ディスプレイ製造ラインの安定稼働を支えます。

■ 消費電力削減により装置運用時のコスト削減に寄与

照明ユニットの消費電力を、従来と比べ65％以上（※5）削減します。これにより、露光装置全体では10％以上の低電力化を実現し、ランニングコストを抑えます。

■ 水銀廃棄量の削減により環境負荷低減に貢献

露光装置1台あたりの水銀廃棄量を年間1.0kg以上削減（※6）します。低消費電力化とあわせて、装置運用における環境負荷低減に貢献します。

※1    2,200×2,500mmサイズのガラス基板で、現在は主にテレビ用ディスプレイのパネル製造に用いられる。

※2    新設装置向け。既設装置向けは今後展開予定。

※3    キヤノン指定の水銀ランプ照度仕様とLED光源照度仕様の比較。

※4    標準運用時の光源寿命を水銀ランプとLED光源で比較。

※5    従来の水銀ランプ運用時の最大消費電力とLED光源運用時の最大消費電力の比較。

※6    装置1台あたりの水銀ランプ使用本数／年 と水銀ランプ1本に含まれる水銀含有量より算出。