IoT時代に求められる半導体プロセスの微細化と、3次元構造に対応するフォトレジスト材料の最適化技術を詳解。次世代EUVリソグラフィーの導入に向けた動向を網羅した1冊が普及版となって発売! 2024年8月8日 13時50分 株式会社シーエムシー出版
6月20日(月) AndTech「EUV リソグラフィ・レジスト材料の基礎・最新動向と要求特性・将来展望」WEBオンライン Zoomセミナー講座を開講予定 2022年6月9日 11時52分 AndTech
IoT時代に求められる半導体プロセスの微細化と、3次元構造に対応するフォトレジスト材料の最適化技術を詳解。次世代EUVリソグラフィーの導入に向けた動向を網羅した1冊が普及版となって発売! 2024年8月8日 13時50分 株式会社シーエムシー出版
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