ハーモテックが、半導体ウェハ搬送の新たなロボットハンド「KUMADE　ECタイプ」を10／1より本格発売開始

山梨県甲府市に、中小企業でありながら、従来の常識を覆す発明で急拡大し、多くの大企業と取引をする、半導体ウェハ搬送・ロボットハンド開発のメーカーが開発した新商品です。

山梨県甲府市の株式会社ハーモテックが、半導体ウェハ搬送の新たなロボットハンド「KUMADE　ECタイプ」を2022年10月1日より本格発売開始しました。

 

企業概要
■ 企業名 株式会社ハーモテック（https://harmotec.com/）
■ 事業内容 半導体ウェハ搬送機器、ロボットハンド開発機器の開発、販売
■ 代表者 代表取締役 岩坂 斉（いわさか ひとし）
■ 所在地 〒400-0851 山梨県甲府市住吉4丁目1-32

「半導体ウェハ搬送の新たなロボットハンド[KUMADE ECタイプ]」とは
当社が開発した半導体ウェハ搬送のロボットハンド「KUMADE」の最新モデル。
（KUMADEについての説明は後述）

【映 像】
https://youtu.be/XLEsUHtpOXg
【URL】
https://harmotec.com/advantage/
【従来のKUMADEから改良された点 ＝ 商品としての革新性】
■ 吸着部の配置見直し。
⇒ 吸着部と同円周上の横滑り防止パーツを大幅に見直ししたこと。
　本改良の価値：ウェハの薄加工部への負荷を大幅に軽減。
■ KUMADE吐出エアーの見直し。
⇒吸引力を発生させるCDA/N2を利用し、意識的にウェハ把持面とロボットハンドの間に空間を作り出す新機能を搭載したこと。
本改良の価値：ウェハに触れずにロボットハンドで搬送する事をより実現。
【開発された日】
2022年4月1日
【販売価格】
￥400,000（本体価格）
【どういった経緯で本格販売開始に至ったか】
超極薄の12インチウェハは従来型のロボットハンドでは自重によるたわみが生じ、搬送面がロボットハンドに触れてしまうという事例が多数確認された。これは異物の付着や傷の発生といった不良問題に直結する。そこで新たに超極薄の12インチウェハの非接触搬送を実現させたいと考え、改良版の開発に着手し、2020年4月に完成、その後、8月のマーケティングリサーチを経て、好評を得た事から今回本格販売をするに至った。

「従来の常識を覆す発明 KUMADE」とはどういったロボットハンドか
円筒室内で高速の旋回流（要は小さな竜巻）を発生させる。高速の旋回流はその螺旋方向によっては物理的に「何かを吸引する力」を発生させる。この原理を使って、半導体ウェハを「触らずに」「優しく」「確実に」搬送するロボットハンド（特許取得）。

KUMADEの動画です（https://www.youtube.com/watch?v=XLEsUHtpOXg）

【KUMADEの名前の由来】
キッカケとなる基本特許を貸してくださった会社の社長が「隈」氏で、この方が特許を貸して下さるだけでなく、開発に関する考え方や姿勢を教えてくださいました。
隈社長が当社に特許を貸された理由は「当社が世の中に役に立つものを開発するだろう」と感じてくださったからだと聞きました。
当社はこういった方々の志を決して忘れず、常に強く、心に刻んでいきたいと考え、この方の名字を製品名に加えました。「隈」氏と「ハンド(手)」で「くま・で」＝KUMADEとなりました。熊手の縁起と、海外進出も見据えて英語表記にしました。

「従来の常識を覆す発明」とはどういったものか
【従来の常識】
精密機器において、ICチップ等を搭載している半導体ウェハは心臓部ともいえるとても重要なパーツです。一方、半導体ウェハはとても繊細で、少しのゴミの付着やたゆみ等で故障の原因となってしまいます。精密機器の製造過程で、この繊細はパーツを「触れる事なく」「カタチを歪める事なく」「決して落とす事なく」確実に自動搬送させる事は今までは不可能とされてきました。ただ単にロボットハンド等で挟めば一瞬で傷がついてしまいますし、直接吸引したところで結局のところ触れたり形状の歪みを生じさせます。「半導体ウェハにゴミや傷を一切つけずに搬送するのは困難」というのが従来の業界常識でした。

【株式会社ハーモテックはどのようにこの常識を覆したのか】
搬送する際にゴミを付けたくないという顧客のニーズを改めて聞いた際、代表岩坂の中では「単純に触らなければゴミがつかないだろう」という考えはありました。しかしそれは、その時はまだ夢物語のような考えでした。しかし、ある時、代表岩坂はこの課題解決を実現させるヒントになる基本特許に出会いました。その特許を借りて改良していく中で「非接触でウェハを自動搬送する」現在の当社の特許が生まれました。
改良時には、吹き出す空気を使った本技術の独自構造に対して、業界内の重鎮からは「吹き出す空気で逆にゴミを巻き上げるから使えない」「静電気を発生させるから使えない」等、この技術は失敗すると言われました。しかし、ダメな理由を一つ一つ解決し、業界常識を覆す「半導体ウェハのロボットハンド」KUMADEが完成しました。
その間、何度もあきらめざるを得ないかということが有りましたが、自社製品で世界的なメーカになるんだという思いから何とか今の状態になりました。

このKUMADEをきっかけに、現在は会社はどのようになっているか
山梨県甲府市の中小企業でありながら、その商品開発力やコンサルティング力を買われ
多くの大手企業とお取引をさせていただいております。
今も「小さな世界一企業になる」というビジョンは変わらず「当社に自動搬送できないモノは無い」という信念で多くの企業の困難な課題に挑戦し続けています。