半導体製造装置の組立てや保守を重視した小型トルクレンチと専用の小型交換ヘッド、校正・調整用のテスターを開発・発売

「狭隘部の締付作業で干渉する」課題を解決。装置設計の自由度も向上。トルクレンチ+交換ヘッド+テスターの新製品群でトータルでのトルク管理を拡充。

株式会社 東日製作所 （本社：東京都大田区、代表：辻 修）は、特に半導体製造装置や検査装置、周辺機器の組み立てや保守作業における「狭隘部での締付作業」に適した締付トルクが5Nm以下の小型トルクレンチ（2製品）と専用の小型交換ヘッド（13製品）、小型トルクレンチの校正に使用する小容量デジタルトルクレンチテスター（1製品）を開発し、2023/1/23（月）から販売を開始しました。これらの新製品によりお客様の製造品質と生産性向上に寄与いたします。また当社WebサイトのCSP6D専用ページにて、トルクレンチと交換ヘッドの干渉チェック用にCADデータ（2D：DXF、3D：IGES）を公開しております。装置設計や生産工程で干渉チェックにご活用していただければ幸いです。
CSP6D専用ページ　https://www.tohnichi.co.jp/products/detail/298

 

図1　新製品一覧　上：ヘッド交換式単能形トルクレンチ「CSP2NX6D」、左中：ラチェットヘッド「QH6D」、左下：オープンヘッド「SH6DX10」、右下：小容量デジタルトルクレンチテスター「DOTE10N4」

• 半導体製造装置産業の活況で「ねじ締付作業でのトルク機器で小トルク製品が販売増」、新たな課題も。

近年、半導体製造装置産業の活況が伝えられていますが、それに伴い当社でも半導体製造装置等で多用される小径ねじのトルク管理用で小型トルクレンチの販売数が増えています。また使用されるねじが、エンジニアリングプラスチック製やセラミックス製・非磁性体材料のボルト、中空形状でステンレス系なども増えているようです。これらは一般的な鋼製ボルトと比較して「締付トルクの小さなねじ」＝「トルク管理のシビアなねじ」となり、トルク管理が重要です。
　これら締付トルクの小さなねじはトルクドライバーで締め付ける程度であり、今までトルクドライバーのご利用をお勧めすることもありました。ところが「トルクドライバーが差し込めない」や「六角ボルトなのでスパナ形状の小型トルクレンチが欲しい」、「狭隘部の締付けなので現状の小型トルクレンチでは締付け作業が困難」との声がお客様から寄せられることが多くなってきました。
　そこで、これらの課題を解決する小型トルクレンチの新規開発に着手いたしました。

• 従来品より「狭隘部の締付作業が可能」だけでなく、作業性向上と締めすぎ防止にも有効

■新製品について■　
1.小型トルクレンチ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

図2　CSP2NX6Dに交換ヘッドQH6D接続状態

製品名：ヘッド交換式単能形トルクレンチ　
型式：　CSP2NX6D　と　CSP5NX6D　※仕様、価格等は表1参照
表1　新製品の小型トルクレンチの型式名、仕様、価格

型式名	トルク調整範囲 （Ｎ・ｍ）	全長 (mm)	質量 (g)	価格（円） ※消費税を含まず
CSP2NX6D	0.4～2	約133	約60	17,100
CSP5NX6D	1～5	約133	約60	17,100

　◇特長◇
a)本体のスリム化を実現。狭隘部の締付作業で干渉しにくくなっています。
従来最小機種CSP1.5N4X8Dと比較して、幅が7mm（37％）減少、厚さは1.9mm（20％）減少しました。
新規開発品となる接続部がφ6の専用小型交換ヘッドと共に使用します。（従来品は接続部がφ8）
b)明瞭なクリック感で締めすぎを防止。トルク管理のシビアなねじの締付けを重視しました。
新規開発で機構を見直し。設定トルクに達した際の「カチン！」が分かりやすく、締付けを確実に完了できます。

2.専用交換ヘッド：ソケットを取り付けるラチェットヘッドとスパナ形のオープンヘッドを新規開発。
・製品名：ラチェットヘッド　　型式：QH6D　　※QH6Dのソケット差し込み部は6.35mmです。
・製品名：オープンヘッド　　型式：SH6Dシリーズ　（スパナの2面幅はW=5.5～19まで12種）
表2　新製品の専用交換ヘッドの型式名と価格

型式名	価格 （円）※消費税を含まず
QH6D	8,300
SH6DX5.5、SH6DX6、SH6DX7	3,190
SH6DX8、SH6DX10、SH6DX11、SH6DX12	3,240
SH6DX13、SH6DX14、SH6DX16、SH6DX17、SH6DX19	3,350

※SH6DシリーズはXの後の数字がスパナ２面幅のWを表します。

◇特長◇
a)ラチェットヘッドQH6Dは従来品の2倍の48枚ラチェット。
従来品QH8Dの半分の振り角となる7.5°でラチェッティング可能。狭隘部の作業性が向上します。
b)狭隘部にボルトにアクセス可能。ラチェットヘッドQH6Dの外幅は従来品QH8Dより8ｍｍ（35％）、オープンヘッドSH6DX10の外幅は従来品SH8DX10より5mm（20％）低減。

図-3　 6Dと8Dの交換ヘッド比較イメージ　上：QH6D（前面）、以前の最小モデルQH8D（背景）　下：SH6DX10（前景）、以前の最小モデルSH8DX10（背景）

 

 

図4　本体のスリム化、QH6Dの振り角半減、QH6DとSH6Dの小型化で干渉領域を低減。

3.小型デジタルトルクレンチテスター
製品名：デジタルトルクレンチテスター
表4　デジタルトルクレンチテスターの仕様と価格

型式名	トルク測定範囲（Nm）	1digit[1目盛]（Nm）	価格 （円） ※消費税を含まず
DOTE10N4	0.2～10	0.001	315,000

■主な特長
a)小型ヘッド交換式単能形トルクレンチCSP2NX6DとCSP5NX6Dの校正やトルク設定（トルクセット）が行えます。　※校正方法は当社セミナー「トルク講習会」にて習得できます。
b)10Nm以下の当社製シグナル式トルクレンチ（17機種）がこれ1台で対応できます。
c)設置場所に困らないA4サイズの設置面積。
d)敏感な小容量トルク機器の校正の為、角ドライブ側が回転するDOTE10N4専用のローディング機構を新規開発。

今後の展開
今後も小型（小容量）トルクレンチ等の開発に注力し、新製品や新サービスの提供によりお客様の品質と生産性向上に寄与します。

株式会社 東日製作所 について
株式会社 東日製作所はトルクレンチに代表されるトルク機器のグローバルニッチトップ企業※です。Your Torque Partnerのスローガンの下、トルク技術を通じて安全な社会の実現に寄与致します。４つのサービス（製品サービス・ビフォアサービス・アフターサービス・ワールドワイドサービス）で安心して東日製品がお使い戴ける努力をしています。
※2014/3/17発表、経済産業省の「グローバルニッチトップ企業100選」より

【会社概要】
社名：株式会社 東日製作所
本社所在地：東京都大田区大森北2丁目2番12号
代表取締役：辻修
事業内容： トルクレンチ、トルクドライバー等トルク機器の製造・販売
設立： 1949年05月
HP：https://www.tohnichi.co.jp/