アプライド マテリアルズ、5,000 台目の Producer プラットフォームを出荷

●Producer®プラットフォームは世界中のほぼすべてのコンピューターチップの製造に 用いられる
● 発売以来 20 年で 19 億㎡のシリコンを加工
● ムーアの法則の深刻化する課題に特殊なプラットフォーム構成で対応可能

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォ ルニア州サンタクララ、社長兼 CEO ゲイリー・E・ディッカーソン）は 7 月 2 日（現地時間）、 発売 20 周年を迎えた Producer®プラットフォームの出荷台数が 5,000 台に達したことを発 表しました。Producer は世界中のほぼすべての IC チップ製造に用いられています。

1998 年 7 月に発売された Producer プラットフォームは、配線を従来のアルミニウムからよ り伝導率の高い銅に切り替え、チップの高速化を実現しました。この技術転換は、ムーアの 法則に沿った性能の向上と消費電力の改善を追求する半導体業界には不可欠でしたが、 多くの追加ステップが必要となるためコスト増の懸念がありました。そこでアプライド マテリア ルズは、最高の性能を最小の運転コストで実現できるよう、Producer のあらゆる構成要素を 考慮した設計を行いました。

その結果、Producer は業界標準プラットフォームとして広く採用され、その後より多くの工 程に対応してムーアの法則の推進を支えるとともに、ノートパソコン、スマートフォン、ウェアラ ブルデバイスといったエレクトロニクス製品の普及に貢献してきました。

VLSI Research の CEO、G・ダン・ハッチソン氏は、「アプライド マテリアルズは、画期的な Producer プラットフォームの開発により、かつてない規模の快挙を成し遂げました。きわめて 柔軟性の高いアーキテクチャは、いくつもの技術世代に対応しながら、今なお並外れた生産 性を維持しているのです。Producer は今日に至るまで、半導体メーカーに斬新な発想と製 造手段を提供し続けてきました。半導体業界にとって最も重要なプロセス装置の一つである Producer が、大きな節目を迎えたことをお祝い申し上げます」と語っています。

インテグレーテッド プロセス プラットフォーム

Producer プラットフォームは当初、化学気相成長（CVD）に特化した枚葉式処理装置とし て登場し、業界標準となって普及しました。その後、アプライド マテリアルズはこのプラットフ ォームの機能を拡充し、エッチング、選択的除去、トリートメント技術への対応も可能にしまし た。今日では、従来の半導体材料の多くがムーアの法則に沿った微細化にもはや物理的に 対応不可能な段階を迎えつつあります。そこでアプライド マテリアルズは、元素周期表を超 えた新材料の開発に取り組み、取り扱いが難しくとも、チップ性能と省エネ性のさらなる改善 を目指しています。この挑戦に対して、Producer プラットフォームは成膜とトリートメント、成 膜とエッチング、成膜と選択的除去など、さまざまな組み合わせを同一システム上および真 空下で実現する「インテグレーテッド プロセス プラットフォーム」の機能を実現しました。

数字が示す Producer の特長
・ 現在までに 180nm から 5nm まで延べ 10 技術ノードに対応
・ 20 年にわたり銅、歪み技術、high-k メタルゲート、FinFET、3D NAND など、業界の 技術転換をサポート
・ 処理したシリコンの延べ面積は 19 億㎡、ニューヨーク市中心部マンハッタンの面積の 30 倍に相当

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、マテリアルズ エンジニアリングのソリューションを提 供するリーダーとして、世界中のほぼ全ての半導体チップや先進ディスプレイの製造に寄与します。 原子レベルの材料制御を産業規模で実現する専門知識により、お客様が可能性を現実に変える のを支援します。アプライド マテリアルズはイノベーションを通じて未来をひらく技術を可能にしま す。 詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。