超音波洗浄機メーカーのカイジョー、半導体向け接液洗浄方式の新型超音波洗浄機『QUAVA mini Mega Puck』を新発売

〜業界最高水準の3MHz高周波対応、石英・サファイアなど多様な薬液に合わせた振動板をラインナップ〜

株式会社カイジョー

2026年7月16日 10時43分

開発の背景

近年、半導体のさらなる高性能化・微細化が急速に進んでいます。これに伴い、製造工程におけるわずかな微粒子の付着や、レジスト剥離・エッチング後の微小な残渣が回路のショートや歩留まり低下を引き起こす致命的な要因となっており、従来以上に高次元な「高清浄度洗浄」が強く求められています。

しかし、微細化した回路パターンは非常に繊細で、従来の強力な超音波洗浄では回路そのものを破壊（パターン倒れなど）してしまうリスクがありました。

この「微細な汚れを完全に除去する高い洗浄力」と「極微細な回路を傷つけないダメージレス」という相反する課題をクリアするため、カイジョーは長年培った超音波技術を結集し、本製品を開発・発売するに至りました。

製品特長

この超音波洗浄機は、カイジョー独自の接液洗浄方式により、超音波を印加した液膜を形成して微細な汚れを除去する新型の超音波洗浄システムです。

高周波領域の超音波洗浄では、エネルギーを安定かつ効率的に伝達するために振動子と被洗浄物の設置距離を近づける必要がありますが、距離が適正でないと超音波エネルギーが減衰してしまう課題がありました。そこで「QUAVA mini Mega

Puck」では、発振器に「警告信号機能（ギャップインジケータ機能）」を搭載。振動子と被洗浄物の最適な設置距離を保ち、安定した超音波を伝播させることが可能となりました。

また、さまざまな薬液に対応できるよう、石英、ステンレス、サファイヤ製の振動板をラインナップ。さらに振動子冷却機構を搭載することで、周波数の安定化と長時間の連続運転を実現し、振動子の長寿命化にも貢献しています。

■ 洗浄方式の比較

半導体製造工程で用いられる主な3つの洗浄方式の特徴は以下の通りです。

洗浄方式	特長
バッチ方式	・大量一括処理に向いている。・場所による洗浄ムラや、剥がれた異物の再付着リスクがある。
シャワー方式	・新しい液を流し続けるため、異物の再付着リスクが極めて低い。・点での洗浄のため全面を均一に洗いにくく、強い衝撃や高回転による　遠心力で回路を傷つけるリスクがある。
接液方式	・広い超音波の有効面積で均一に超音波を伝えるため洗浄ムラがない。・低回転で深穴へのコンタクト頻度が増加

洗浄方式

特長

バッチ方式

・大量一括処理に向いている。

・場所による洗浄ムラや、剥がれた異物の再付着リスクがある。

シャワー方式

・新しい液を流し続けるため、異物の再付着リスクが極めて低い。

・点での洗浄のため全面を均一に洗いにくく、強い衝撃や高回転による
　遠心力で回路を傷つけるリスクがある。

接液方式

・広い超音波の有効面積で均一に超音波を伝えるため洗浄ムラがない。

・低回転で深穴へのコンタクト頻度が増加

■ おすすめの業種と効果を発揮する主なワーク（対象物）

本製品は、特に高いクリーン度とダメージレスが要求される以下の業種・用途に最適です。

推奨される業種：

・前工程を中心とする半導体デバイスメーカー

・半導体製造装置メーカー

・電子部品・光学素子メーカー、シリコンウエハ製造メーカー

効果を発揮する主なワーク・工程：

・先端半導体ウエハ（シリコンウエハ、SiC、GaNなど）：ナノからミクロンオーダーの幅広いパーティクル除去と、パターン倒れが懸念されるデリケートなウエハの精密洗浄を両立。

・レジスト剥離・エッチング後工程：超音波による剥離やエッチングの促進と、微小な有機・無機残渣の完全除去。

・フォトマスク・MEMS・各種光学基板：傷が許されない超精密フラットワークの異物除去。

■ 製品仕様

QUAVA mini 発振器仕様

型式	20110(QA-001)	20110(QD-027)
最大出力	1W ～ 50W (出力調整単位0.1W)	1W ～ 50W (出力調整単位0.1W)
周波数	950kHz、3MHz	950kHz、3MHz (Dual発振)
発振モード	PLL発振、Aモード	PLL発振、Aモード
電源	AC100V ～ AC240V、250VA 単相 50/60Hz	AC100V ～ AC240V、250VA 単相 50/60Hz
外形寸法	218(W)×258(D)×138(H) mm	218(W)×258(D)×138(H) mm
重量	5kg	5kg

Mega Puck 振動子仕様

950kHz

型式	28230	28231
発振器型式	20110 (QA-001)	20110 (QA-001)
周波数、許容入力	950kHz/50W	950kHz/50W
筐体材質	ECTFE	ECTFE
振動板材質	石英	サファイア
使用可能液温	15-40℃	15-40℃
使用液量	1.0-2.0L/min	1.0-2.0L/min
エアパージ流量	約 10L/min (0.02MPa 以下)	約 10L/min (0.02MPa 以下)
外形寸法	65(W)×74(D)×38(H)mm	65(W)×74(D)×38(H)mm
重量	約 0.4Kg	約 0.4Kg

3MHz

型式	29230H	29231H
発振器型式	20110 (QA-001)	20110 (QA-001)
周波数、許容入力	3MHz/30W	3MHz/30W
筐体材質	ECTFE	ECTFE
振動板材質	石英	サファイア
使用可能液温	15-40℃	15-40℃
使用液量	1.0-2.0L/min	1.0-2.0L/min
エアパージ流量	約 10L/min (0.02MPa 以下)	約 10L/min (0.02MPa 以下)
外形寸法	65(W)×74(D)×38(H)mm	65(W)×74(D)×38(H)mm
重量	約 0.4Kg	約 0.4Kg

950kHz / 3MHz (Dual)

型式	208230	208231
発振器型式	20110 (QD-027)	20110 (QD-027)
周波数、許容入力	950kHz/50W、3MHz/30W	950kHz/50W、3MHz/30W
筐体材質	ECTFE	ECTFE
振動板材質	石英	サファイア
使用可能液温	15-40℃	15-40℃
使用液量	1.0-2.0L/min	1.0-2.0L/min
エアパージ流量	約 10L/min (0.02MPa 以下)	約 10L/min (0.02MPa 以下)
外形寸法	65(W)×74(D)×38(H)mm	65(W)×74(D)×38(H)mm
重量	約 0.4Kg	約 0.4Kg

会社概要

カイジョーは、長年培った超音波技術をコアに、半導体製造装置や超音波洗浄機器の開発・製造・販売を行っています。お客様のご要望に応じた投込振動子、洗浄槽、振動板のカスタマイズ設計・製造にも柔軟に対応しております。

当社の前身である海上電機は、戦時中の音響測探技術を平和産業へ転換し、戦後復興へ貢献したいという想いから誕生しました。そのルーツである音測・魚探技術を応用し、1958（昭和33）年に発売した超音波洗浄機1号機「ソノクリーナー」は大きな反響を呼びました。以来、当社は単に超音波を照射するだけでなく、社内での徹底した部品洗浄実験と厳格な評価に基づく設計・製造にこだわり続けています。最先端半導体業界において約70年の歴史を持つパイオニアとして、確かな機器だけを市場に送り出し、これからもお客様の信頼に応え続けてまいります。