世界最先端レベル0.4μm の高分解能を生産現場で。汎用ナノフォーカスＸ線顕微検査装置 TUX-3300N を発売。

高分解能X 線発生器、X 線検査装置の企画・開発・製造・販売を行う株式会社マーストーケンソリューション（以下：MTS、所在地：東京都新宿区、代表取締役社長 村上 浩）は、半導体、電子部品など微細部品や高密度実装基板の生産現場での高拡大率、高解像度のX 線による透視検査実現する為、汎用ナノフォーカスX 線顕微検査装置 TUX-3300N の販売開始をいたしました。

業界最高水準の分解能0.4μm（JIMA ﾁｬｰﾄ分解保証）の自社開発X 線開放管に500 万画素のカメラを搭載。
従来機以上に微細な観察を可能としました。そしてユーザービリティを追求し、両扉で大きな開口部としサンプルセットやオプションステージの取り外しが簡単になりました。
省スペースを実現するため、装置前面にメンテナンススペースを集中させ、装置背面を壁面に密着設置ができる筐体デザインへ大幅刷新。従来機よりも3 倍の輝度向上をさせており、透視分析やCT 撮像時間の大幅短縮を実現。従来はナノフォーカスと呼ばれる高分解能X 線装置は主に透視分析、CT 分析などに用いられ、電子顕微鏡の隣などに設置されておりましたが、生産現場に近い場所に設置し、ワイヤの流れ率、はんだボイドの計測など、MTSの自動検査で培った画像処理技術の組合せにより、検査を自動検査化することを可能にしました。

TUX-3300N筐体

製品概要URL：http://xi.mars-tohken.co.jp/products/tux-3300n/index.html

■TUX-3300N の特長
●自社開発の開放管X 線源搭載（分解能5 段階切り替え機能付き 最少分解能0.4um 保証（JIMA ﾁｬｰﾄ））
●ユーザービリティを追求した筐体デザイン
●高速自動検査に対応、半自動機として大量のX 線透視撮影を可能としました。
●オプションでCT ユニット、加熱装置を搭載可能。
●φ400mmの大型ステージ搭載。微細部品からJEDIC トレーまでのサンプルの大きさに対応。

■価格：オープン価格

■仕様
□X 線源種類：5 段階（0.4・0.6・1.0・2.0・3.0μm）分解能切替式 開放管X 線源
□フィラメントの種類：高輝度LaB6 チップ
□X 線焦点サイズ：0.25μm（検証不可の為、参考値です）
□最高分解能（JIMA チャート保証）： 0.4μm
□X 線出力 管電圧／管電流 ： 20～130kV／10～200μA
□ステージサイズ ：直径400mm
□最大幾何倍率 ：1200 倍
□最大モニター倍率 ： 7200 倍
□メインモニター ：32インチ4K モニター
□最大視野サイズ ：44mm×33mm ※FID300mm時
□水平軸移動量：X軸 ±200mm / Y軸 ±150mm
□検出系傾斜角度 ： T 軸 -20～60°
□検出器・カメラ ：4 インチI.I＋500 万画素CMOS カメラ（FPD 搭載も検討中）
□観察可能サイズ ：X方向400mm  Y方向300mmの範囲
□本体外径寸法 W×D×H mm ：1660×1280×1880 mm
□本体重量 ：約2000kg
□ユーティリティ：電源 三相AC200Ｖ 30A / エア 0.4～0.5MPa(外径φ6mmチューブ接続)

【会社概要】
■会社名 株式会社マーストーケンソリューション
■代表者 代表取締役社長 村上 浩
■資本金 500,000,000円
■設 立 1998年10月30日
■所在地 〒160-0022 東京都新宿区新宿1-8-5 新宿御苑室町ビル
■TEL [phone]（代表）
■FAX [phone]
■URL http://www.mars-tohken.co.jp
■Email [e-mail]
■事業内容 RFID、バーコード、2次元コード、各種自動認識システムの企画・開発・製造・販売。
会員管理事業。

【本件に関するお問い合わせ先】
株式会社マーストーケンソリューション
担当者：営業企画室 村岡・水野　 Tel：[phone]
E-mail：[e-mail]