抵抗値を約20%削減し、半導体検査時の電圧低下を低減する「低抵抗プローブ」を新開発

　～　長年培ってきたヨコオの独自技術を集結し、従来比20%減を実現　～

株式会社ヨコオ（本社：東京都千代田区、社長：徳間孝之）は、このたび、半導体検査で使用するプローブの、構造そのものから、プランジャーの先端形状やばね構造までを見直すことで、従来品に比べ抵抗値を約20％削減する「低抵抗プローブ」を開発しました。

約20％抵抗値を削減した「低抵抗プローブ」

半導体検査で使用される一般的なプローブは、金属製のチューブとばね、それとプランジャーと呼ばれる金属部品がチューブの両端にそれぞれついており、合計4つの部品で構成されています。
両端のプランジャーは、チューブ内部のばねの伸縮により上下に可動する構造になっており、このプランジャーが半導体に直接接触し電気を流すことで検査を行います。

新開発の低抵抗プローブは、まず、プランジャーの可動を片側だけにする、片可動プローブを採用することに加え、ばね荷重を高くすることで抵抗値を大幅に削減しています。さらにそれら既存技術に加え、プランジャーの先端形状とばね構造を最適化することで、プランジャーと基板との抵抗値の削減を図っています。

長年プローブ製造を行い培ってきたノウハウを生かし、既存技術と新規技術を組み合わせ、一つひとつの部品を丁寧に見直し、微細な技術を積み重ねることで、従来品より約20％削減した低抵抗プローブを開発することができました。

半導体は、年々高度化していることに加え、省電力化も進んでいます。今後、さらなる省電力化が進むと、現在使用しているプローブでは、検査時に電圧低下を引き起こす可能性が考えられます。

また通常の検査工程においても、プローブの抵抗値が低いと安定した検査を行うことができるため、低抵抗プローブの技術を他プローブにも応用する事で、安定的な検査工程を提供することが可能になります。

ヨコオはこれからも、長年培ってきたコア技術を生かし、今後も高度化する半導体の検査工程において、安定した検査工程を提供できるよう貢献してまいります。

＜参考資料＞
■   従来品との比較

■   特徴
・片可動を採用することに加え、ばね荷重を高め抵抗値を削減
　⇒片可動タイプは、プランジャーAとバレルが同時に可動します
・プランジャーBの先端形状とばね構造を最適化し、抵抗値を削減

（注）　ニュースリリースに記載されている内容は報道発表日時点の情報です。その後、予告なしに変更する可能性があります。あらかじめご了承ください。

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