世界最高レベル 高精細かつ高速で三次元CT撮像を実現
ナノフォーカス横照射型X線CT「MUX-2021」を販売
Ｘ線検査装置の製造・販売・検査受託サービスを行う株式会社マーストーケンソリューション（以下MTS、所在地：東京都新宿区、代表取締役社長 小平 尚、URL https://www.mars-tohken.co.jp/ ）は、業界内で世界トップクラスの高分解能X線源と高感度検出器を搭載したナノフォーカス横照射型X線CT「MUX-2021」を販売します。
X線によって複雑な電子部品、素材や生体等の内部画像を取得し、CT（コンピュータ断層撮影）機能により、内部形状、状態を把握することができます。従来比8倍の高速処理が可能となっており、材料研究や障害部品の解析、品質管理等業務の大きな生産性向上に役立てることができます。これにより半導体の研究開発、自動車用電池の新素材開発や医学研究や宇宙用素材開発といった、研究開発からモノ作りまでさまざまな用途で活用いただけます。
X線によって複雑な電子部品、素材や生体等の内部画像を取得し、CT（コンピュータ断層撮影）機能により、内部形状、状態を把握することができます。従来比8倍の高速処理が可能となっており、材料研究や障害部品の解析、品質管理等業務の大きな生産性向上に役立てることができます。これにより半導体の研究開発、自動車用電池の新素材開発や医学研究や宇宙用素材開発といった、研究開発からモノ作りまでさまざまな用途で活用いただけます。
製品URL： https://xi.mars-tohken.co.jp/MUX-2021/
●世界最高レベル0.4um分解能
世界最高レベル、JIMAチャート0.4um分解能を保証しており、半導体電子部品の分野で豊富な納入実績のある自社製開放管型X線源を搭載。
●ハイコントラストかつ高精細な三次元CT観察を実現
高解像度検出器との組み合わせで当社X線源の特徴である長波長の軟X線領域を最大に活用し、ハイコントラストかつ高精細な三次元CT観察を実現。半導体や電子部品の微細加工品の観察や電子顕微鏡の電子線ではダメージを受けてしまう複合材樹脂内添加物の凝集/分散や空孔、炭素繊維の配向性、生体試料の構造等の微細な三次元CT観察が可能。
●高速撮像
高精度回転試料ステージを搭載により100ナノメートル以下の空間分解能を実現するだけでなく、非停止撮像を可能とし、撮像時間を従来の1/8以下に大幅短縮。（※当社従来機比、撮像条件による）
●自動大量一括処理可能（オプション）
オートチェンジャー機能を追加することで多数の試料の自動撮像が可能。（オプション）
●引張や圧縮機構をつけ、試料にストレス加えた状態での三次元CT観察が可能。（オプション）
■■仕様
□X線源：自社開発 開放型X線源 （JIMAチャート0.4um保証）
□管電圧/管電流：20～100ｋV /10～200uA
□検出器：高感度X線検出器（16bit）空間分解能0.1um以下
□最大視野サイズ：17×17mm
□本体サイズ（操作デスク含まず）：1,420（W）×985（D）×1,350（H）mm
□重量：1,270kg
■■用途
極小～10mm程度の大きさの試料の微細三次元CT撮像
●化学分野の新素材、複合材料分野の主な観察事例
●半導体、電子部品分野の主な観察事例
●エネルギー分野の主な観察事例
●医療、生物分野の主な観察事例
■■撮像例
※宇宙航空研究開発機構（JAXA）様ご提供サンプル
イメージセンサーの極小TSV部の3Dモデル
■■価格と年間販売台数
定価：8,000万円
年間販売台数：10台目標
■■その他
本装置の販売だけでなく、受託撮像サービスも提供いたします。
公共機関のような装置レンタルだけではなく、当社の専任オペレーターが撮像を行い、最適条件での
三次元CTデータを提供します。試料によっては撮像の可否の事前評価を無償で行います。
●オペレーターによる撮像費用
１撮像 30万円（※数量、金額についてはご相談可能。三次元解析についても別途費用にて承ります。）
納期：1～2週間（目安）
【本件に関するお問い合わせ先】
株式会社マーストーケンソリューション 担当者：X線営業部 玉造（たまつくり）、西川
Tel：042-484-6155（直通）
E-mail：info@mars-tohken.co.jp
●世界最高レベル0.4um分解能
世界最高レベル、JIMAチャート0.4um分解能を保証しており、半導体電子部品の分野で豊富な納入実績のある自社製開放管型X線源を搭載。
●ハイコントラストかつ高精細な三次元CT観察を実現
高解像度検出器との組み合わせで当社X線源の特徴である長波長の軟X線領域を最大に活用し、ハイコントラストかつ高精細な三次元CT観察を実現。半導体や電子部品の微細加工品の観察や電子顕微鏡の電子線ではダメージを受けてしまう複合材樹脂内添加物の凝集/分散や空孔、炭素繊維の配向性、生体試料の構造等の微細な三次元CT観察が可能。
●高速撮像
高精度回転試料ステージを搭載により100ナノメートル以下の空間分解能を実現するだけでなく、非停止撮像を可能とし、撮像時間を従来の1/8以下に大幅短縮。（※当社従来機比、撮像条件による）
●自動大量一括処理可能（オプション）
オートチェンジャー機能を追加することで多数の試料の自動撮像が可能。（オプション）
●引張や圧縮機構をつけ、試料にストレス加えた状態での三次元CT観察が可能。（オプション）
■■仕様
□X線源：自社開発 開放型X線源 （JIMAチャート0.4um保証）
□管電圧/管電流：20～100ｋV /10～200uA
□検出器：高感度X線検出器（16bit）空間分解能0.1um以下
□最大視野サイズ：17×17mm
□本体サイズ（操作デスク含まず）：1,420（W）×985（D）×1,350（H）mm
□重量：1,270kg
■■用途
極小～10mm程度の大きさの試料の微細三次元CT撮像
●化学分野の新素材、複合材料分野の主な観察事例
- 炭素繊維強化樹脂（CFRP）やガラス繊維強化樹脂（GFRP）などの繊維質の配向性
- カーボン材の積層状態（剥離、クラック）
- 機能性樹脂内のセルロースナノファイバー（CNF）やフィラーの分散/凝集
- 不織布や紙などの繊維の粗密、ネットワーク
●半導体、電子部品分野の主な観察事例
- 2.5D/3D実装（SoCなど）のTSV（貫通電極）やマイクロバンプ、インターポーザー配線
- セラミックコンデンサなど極小電子部品やMEMSの構造（寸法計測、短絡、クラックなど）
- 導電材料の導電物質の分散/凝集
●エネルギー分野の主な観察事例
- 電池素材（活物質、バインダー、セパレーターなど）の多孔体構造や添加物の分散/凝集、粒子間結合
- 燃料電池の多孔質電極内の構造や触媒、液水の可視化
●医療、生物分野の主な観察事例
- 錠剤、カプセル剤などの構造、顆粒
- 小型生物の関節や骨の構造、骨密度
- 種子、植物など水分を保ったままでの構造
■■撮像例
3Dプリンターで作成したCFRP積層構造体断面像（繊維経：約7um）
※宇宙航空研究開発機構（JAXA）様ご提供サンプル
イメージセンサーの極小TSV部の3Dモデル
■■価格と年間販売台数
定価：8,000万円
年間販売台数：10台目標
■■その他
本装置の販売だけでなく、受託撮像サービスも提供いたします。
公共機関のような装置レンタルだけではなく、当社の専任オペレーターが撮像を行い、最適条件での
三次元CTデータを提供します。試料によっては撮像の可否の事前評価を無償で行います。
●オペレーターによる撮像費用
１撮像 30万円（※数量、金額についてはご相談可能。三次元解析についても別途費用にて承ります。）
納期：1～2週間（目安）
【本件に関するお問い合わせ先】
株式会社マーストーケンソリューション 担当者：X線営業部 玉造（たまつくり）、西川
Tel：042-484-6155（直通）
E-mail：info@mars-tohken.co.jp
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