アプライド マテリアルズ　AIxプラットフォームを発表

ビッグデータとAIを活用して半導体技術のブレークスルーを研究開発から製造まで迅速に展開

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォルニア州サンタクララ、社長兼CEOゲイリー・E・ディッカーソン）は4月5日（現地時間）、新しいチップテクノロジーの発見、開発、商用化を加速するイノベーティブなプラットフォーム、AIx ™を発表しました。

AIxはアクショナブル インサイト アクセラレータ（Actionable Insight Accelerator）の略で、半導体プロセスのリアルタイム観察、ウェーハ面全体や個々のチップ上の数百万カ所の測定、数千ものプロセス変数の最適化を行うことを可能にし、半導体のPPACt（性能、消費電力、面積あたりコスト、市場投入までの期間）を改善します。AIxプラットフォームはアプライド マテリアルズのすべてのプロセス装置および電子ビーム計測検査装置と併用することができ、研究開発から製造まで利用を広げることも可能です。AIxを使うことで、技術者はR&D段階にイノベーティブなレシピを特定し、生産移行と量産立ち上げを迅速化することができます。AIxはすでに利用が始まっており、ロジックとメモリチップのPPACt改善に貢献しています。

アプライド マテリアルズのシニアバイスプレジデント兼セミコンダクタ プロダクトグループ ジェネラルマネージャー、プラブー・ラジャ（Prabu Raja）は次のように述べています。「PPACtの『t』（市場投入までの期間）を加速することは、業界エコシステムの全企業にとって最大の価値を生み出す鍵です。AIxはアプライド マテリアルズのあらゆるソリューションを新しい形でつなぐことで、開発期間の半減とプロセスウィンドウの3割以上の改善を目指すものです。これまで3年をかけて開発したAIxは、技術者にまったく新しいツールキットを提供し、ますます複雑化する半導体製造の課題解決を支援します」

アプライド マテリアルズのセミコンダクタ プロダクトグループでグループバイスプレジデントを務めるラマン・アチュタラマン（Raman Achutharaman）は次のように話しています。「AIxはビッグデータとAIの能力を利用して、R&Dから立ち上げ、量産に至る半導体技術ライフサイクルのあらゆるステージでお客様により優れた成果をもたらします。技術者には何千というプロセス変数の選択肢があり、その中に潜む数少ない重要な相関関係だけがレシピ最適化の鍵となり、世界最高レベルの結果が生まれます。AIxはそうした実行性のあるデータを識別・明示して、PPACtの加速に必要な実行性のある洞察を技術者にもたらします」

VLSIresearchのダン・ハッチソン（Dan Hutcheson）CEO兼会長は次のように語っています。「AIxプラットフォームという形でビッグデータ解析をプロセスエンジニアリングのエコシステムに投入することで、アプライド マテリアルズはまたも半導体業界に真の価値を付加しています。AIxは数十年来用いられてきた線形データストリームに基づく統計的プロセス制御メソッドを超えて、新しい多次元の世界へと進み、3D画像やin-situ計測およびセンサからのデータを蓄積して、実行性のある情報を抽出します。アプライド マテリアルズのAIxは、R&Dを加速する新しいツールキットとして、成果がでるまでの期間と最終的な利益創出までの期間を短縮することでしょう。AIxのアルゴリズムは生産工程に移植されて、リアルタイムのチャンバ制御によるプロセス管理を実現すると予想しています」

AIxプラットフォームに含まれるものは以下の通り：

• ChamberAITM：アプライド マテリアルズのプロセスチャンバに向けた新しいセンサと機械学習アルゴリズムは、プロセスガス、エネルギー、圧力、温度、期間などの変数をリアルタイムで分析することができます。
• オンボード計測：独自の真空内計測により、新しい薄膜のオングストローム精度での計測が成膜中に行えます。
• インライン計測：アプライド マテリアルズの電子ビーム計測技術に基づく独自のアルゴリズムにより、計測スピードは従来手法の100倍、解像度は50％増を実現します。1時間に100万以上の3Dウェーハ計測値が得られ、ごく軽微なレシピ変更がオンチップのデバイスや構造にもたらす変化をナノメートル単位で評価することができます。
• AppliedPROTM：PROはProcess Recipe Optimizerの略です。AppliedPROはデジタルプロセスマップを生成し、マテリアルとレシピの開発を加速するとともに、ばらつきを低減し、プロセスウィンドウを広げます。個々のチャンバやツールの最適化、装置群全体のマッチングの加速にも利用できます。
• デジタルツイン：AIxプラットフォームには、選りすぐったアプライド マテリアルズ製チャンバおよび装置のデジタルツインモデルが含まれています。これを用いたバーチャル実験により、レシピ開発の加速、マッチングと立ち上げ移行の改善、量産アウトプットと歩留まりの最適化が可能となります。
• コンピューティング：AIxプラットフォームには、機械学習とAIアルゴリズムを用いて大量のデータを保存・分析するためのコンピューティングリソースが含まれます。

 

 
アプライド マテリアルズは4月6日の2021インベスターミーティング、ならびに5月5日と6月16日に開催するマスタークラスイベントにおいて、AIx のケーススタディを紹介する予定です。
 

 

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、マテリアルズ エンジニアリングのソリューションを提供するリーダーとして、世界中のほぼ全ての半導体チップや先進ディスプレイの製造に寄与します。原子レベルのマテリアル制御を産業規模で実現する専門知識により、お客様が可能性を現実に変えるのを支援します。アプライド マテリアルズはイノベーションを通じて未来をひらく技術を可能にします。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。
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このリリースは4月5日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライド マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：中尾 均）は1979年10月に設立。大阪支店、川崎オフィスのほか16のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体制を整えています。