光ファイバー式 非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」を発売

～従来比約60%のセルユニット体積削減と対応薬液種拡充により、半導体製造プロセスに貢献～

HORIBAグループの水・液体計測事業を担う株式会社堀場アドバンスドテクノ（本社：京都市南区吉祥院宮の東町2、代表取締役社長：西方健太郎）は、光ファイバー式非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」を2026年3月26日に発売します。

洗浄やエッチングといった半導体製造プロセスに使用される薬液の濃度を測定する「CS」シリーズは、1995年に発売して以来、お客様のニーズに応じて進化を続けてきました。

新製品「CS-900F」は、配管に取り付けるだけで薬液を非接触測定できる方式を採用し、薬液漏れやコンタミネーション※1のリスクを低減します。光ファイバーケーブルを導入し、分光器をメインユニット側へ移設することで、装置内に設置するセルユニットの体積を従来比で約60％※2削減しました。大幅な小型化を実現しつつ、安定性に強みを有する内部リファレンス※3機構を搭載。外乱影響を低減した高い測定精度を維持しながら、装置内のフットプリント※4低減を可能にしました。

さらに、対応可能な薬液の種類も拡充し、「CS」シリーズのフラッグシップとして安定性と汎用性を備えたモデルに刷新しています。

光ファイバー式 非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」（左：メインユニット、右：セルユニット）

【開発の背景】

半導体の製造工程における薬液処理は、表面処理の均質性に影響するなど歩留まりを左右する重要な工程であるため、薬液の厳密な管理が必要です。そのため、配管内の薬液に触れることなく測定結果が得られる非接触型の薬液濃度モニター「CS-900」を2019年に発売しました。

その後継機となる本製品は、半導体業界において共通して求められるフットプリントの低減をめざし、光ファイバー式を採用しました。これにより、お客様装置内に設置するセルユニットの体積を従来比で約60％削減しました。「CS」シリーズ発売から30年の歴史で培った技術を活かし、市場ニーズに寄り添いながらさらなる普及拡大をめざします。

半導体洗浄装置への設置イメージ

【製品の特長】

１．小型化と安定測定を両立

非接触で測定する本製品は、お客様の装置内の配管にセルユニットを取り付けるだけで、容易にご使用いただくことができます。

メインユニットとセルユニットを光ファイバーケーブルでつなぐ方式を導入したことにより、従来はセルユニットに内蔵していた分光器をお客様の装置の外に設置するメインユニットへと移すことが可能となりました。これによりセルユニットの体積を従来比で約60％削減しました。メインユニットへの分光器移設に加え、セルユニットにはCSシリーズの強みである安定性の高いリファレンス※3を内蔵したことで、振動などの外乱影響を低減し、安定した測定に寄与します。

２．測定可能な薬液の種類を拡充

従来製品の優位性を引き継ぎ、最高80℃までの高温薬液を含めた幅広い薬液の測定が可能です。

さらに、波長域を従来比約3倍※2に拡張することで、対応可能な薬液の種類を拡充しました。

標準的なSC-1（アンモニア過酸化水素水溶液）だけでなく、硝酸、リン酸、酢酸の混合液などの複雑かつ危険な薬液を使用するプロセスにおいても、前処理を必要とせず高温薬液を直接測定でき、安全な作業性に貢献します。

※1　他の物質などが混入することによって、本来の純度や品質が損なわれること。

※2　当社従来製品との比較。使用方法や条件によって効果が異なる場合があります。

※3　吸光度測定において、光源の揺らぎや光学部品の経時変化を補正するための比較基準となる光。リファレンスを使用することで、測定精度を向上させ、外乱影響を抑制します。

※4　装置・計測器などが占有する面積のこと。