半導体計測装置の実習専用拠点「リガク ソリューションセンター大阪」を開設

～サービスエンジニア向け実機トレーニングを集約・拡充し、グローバルサービス体制を強化～

リガク・ホールディングスのグループ会社で、X 線分析装置の世界的ソリューションパートナーである株式会社リガク（本社：東京都昭島市 代表取締役社長：川上 潤、以下「リガク」）は、半導体計測装置のサービスエンジニア向け技術教育機能を集約・拡充し、グローバルサービス体制を強化するため、大阪工場内に「リガク ソリューションセンター大阪」を開設しました。

▲TXRF-V310 を用いた半導体計測装置のトレーニングの様子（リガク ソリューションセンター大阪）

近年、半導体製造プロセスの微細化・多層化・三次元化が急速に進み、計測装置にはこれまで以上の精度と安定稼働が求められています。この要求に非破壊かつ高精度で応えられるX 線分析の役割がますます増大しています。

リガクの半導体計測装置も出荷台数が拡大しており、国内外のサービスエンジニア（FSE）がお客様の生産現場で迅速かつ高品質な保守・メンテナンスを提供できる体制づくりが急務となっています。装置の性能を最大限に引き出し、お客様の生産活動を止めないために、実機を用いた反復的・実践的なトレーニングによる技術力の底上げが不可欠です。

この課題解決のため開設したのが半導体計測装置向けのサービス実習専用施設「リガク ソリューションセンター大阪」です。大阪工場内に新設したクリーンルームには、半導体製造プロセスで使用される複数の計測装置を常設し、装置の分解・組立から総合調整・性能検査までを実機で体験できる環境を整えました。これにより、サービスエンジニアは現場と同じ条件で技術を磨き、より高度な保守・メンテナンス技術を習得できます。

複数の実習機を一拠点に集約したことで、機種横断的な技術教育を効率的に実施できるほか、受講者のレベルやニーズに応じた柔軟なカリキュラム設計も可能です。国内外のサービスエンジニアや代理店に対し、実運用を想定した教育機会を提供することで、技術レベルの向上と保守手順の標準化を推進します。

さらに大阪工場内という立地を活かし、国内外からのアクセス性を高めることで、より多くのサービスエンジニアの受け入れが可能になりました。世界中のお客様に均質で高水準なサービスを提供し、装置の安定稼働を支えます。

本拠点を起点に、対象装置の拡充と定期トレーニングプログラムの拡大を継続的に進め、半導体産業を支える計測技術とサービス品質のさらなる向上に取り組んでまいります。

【リガクグループについて】

リガクグループは、X 線分析をコアに熱分析等も含む先端的な分析技術で社会をけん引する技術者集団です。産業・研究用分析のソリューションパートナーとして1951 年の創業以来、136 の国と地域のお客様と共に成長を続けています。日本国内で極めて高いシェアを誇り、海外売上は約70%に達しています。応用分野は、半導体や電子材料、電池、環境・エネルギーからライフサイエンスまで日々拡大中です。世界で2,000 名超の従業員が「視るチカラで、世界を変える」イノベーションの実現に取り組んでいます。

詳しくは rigaku-holdings.com をご覧ください。