リガク、ナノスケールX線顕微鏡 「CT Lab HR160」を発売

～Excillumとの協業により、電池・半導体デバイス・先端材料の高度な解析に対応～

リガク・ホールディングスのグループ会社で、X線分析装置の世界的ソリューションパートナーである株式会社リガク（本社：東京都昭島市、代表取締役社長：川上 潤、以下「リガク」）は、X線イノベーションをグローバルに提供するExcillum AB（本社：スウェーデン・ストックホルム、CEO：David Lindblom、以下「Excillum」）との協業により、電池、半導体デバイス、電子部品、先端材料の解析に対応するナノスケールX線顕微鏡「CT Lab HR160」を発売しました。

▲ナノスケールX線顕微鏡「CT Lab HR160」

CT Lab HR160は、リガクのX線CTイメージング技術とExcillum製のX線源「NanoTube N3」を組み合わせることで、最大160キロボルトの管電圧により幅広いサンプルに対応するとともに、業界最高水準の250ナノメートル空間分解能を実現しました。これにより、従来のマイクロスケールCTシステムでは観察が困難だった微細な内部構造や欠陥を、非破壊で3次元観察することができます。また、コーンビーム光学系により、X線発生装置や検出器を交換することなく撮影範囲や分解能を調整でき、さまざまなサンプルに柔軟に対応します。

 

電池、半導体デバイス、積層セラミックコンデンサ（MLCC）、パワーエレクトロニクスなどの分野では、高性能化や微細化、構造の複雑化が急速に進み、より微細な内部構造や欠陥を高精度に評価する解析技術が求められています。

リガクとExcillumの先進技術を融合したCT Lab HR160は、これらの課題に応える高度な解析をラボ環境で可能にし、開発期間の短縮、製品品質の向上、より精密な故障解析などへの貢献が期待されています。

 

CT Lab HR160の詳細については、リガクのウェブサイトをご覧ください。
Rigaku CT Lab HR160 製品ページ

【リガクグループについて】

リガクグループは、X線分析をコアに熱分析等も含む先端的な分析技術で社会をけん引する技術者集団です。

産業・研究用分析のソリューションパートナーとして1951年の創業以来、136の国と地域のお客様と共に成長を続けています。日本国内で極めて高いシェアを誇り、海外売上は約70%に達しています。応用分野は、半導体や電子材料、電池、環境・エネルギーからライフサイエンスまで日々拡大中です。世界で2,000名超の従業員が「視るチカラで、世界を変える」イノベーションの実現に取り組んでいます。詳しくはrigaku-holdings.comをご覧ください。

【Excillumについて】

Excillumは、X線イノベーションをグローバルに提供しています。世界で最も明るく最先端の産業用および実験室用X線源を、開発・製造・保守いたします。先進的な科学研究、産業分野、およびシステムインテグレーションパートナーとの緊密な協力により、新たな科学的発見の実現、医療分野の改善、そして製造業の強化に貢献しています。スウェーデンのストックホルムに本社を置くExcillumは、2007年の創業以来、X線源技術の限界を押し広げています。excillum.com