三菱重工工作機械、超薄型精密位置検出器を発売

MPFAシリーズ、リニアモータ方式にも対応

◆ 0.4mmの薄さで分解能0.1μm、応答速度30m/secを実現
◆ 7月からの本格販売に向け、半導体・液晶製造装置や食品機械など幅広い分野に対しソリューション提案へ

三菱重工グループの三菱重工工作機械株式会社（社長：若林 謙一、本社：滋賀県栗東市）は、機械の位置決め・送りなどをデジタル検出する超薄型の精密位置検出器「MPFAシリーズ」を開発、7月から本格販売を開始します。これまで主に工作機械向けに販売してきた「MPスケール」の特長を活かし開発したもので、スケール部分を薄型にすることにより、軽量で巻き取り可能なテープ式としました。また、コストを抑えたつくり込みにより低価格での提供を実現しています。これまで以上に高精度・高速な制御を求める産業機械分野の需要に応え販売を加速していきます。

従来、倉庫内の搬送装置を駆動するためなどに用いられる産業用モータには、ボールねじ（注1）で直線運動に変換する方式でエンコーダ（注2）付きのサーボモータが採用されていました。近年、これら搬送装置や移動ロボットはもちろん、半導体・液晶製造装置や食品機械など、さまざまなシーンにおいて、より高速・高精度な制御が求められる傾向にあり、従来の限界を超える方式として、コイルと磁石で駆動するリニアモータと精密位置検出器を組み合わせた駆動方式の需要が高まりつつあります。

MPFAシリーズは、これらリニアモータの高精度な位置検出をするにあたり最適なスケールです。分解能（注3）0.1μm、応答速度30m／secと高分解能・速度を実現。従来10mm程度あったスケール部分の厚みを、テープ式を用いて0.4mmまで薄くしたことで、リニアモータのステージ（台）の中に入る薄型のスケールとなっています。また、完全非接触構造とすることで、経年変化による精度劣化を無くし長期的に高い精度の位置検出が可能となります。

工作機械には、長時間かけて精度高く加工することが求められるため、短時間で連続した生産が求められる産業用機械向けのスケールよりも高精度な位置検出器が用いられます。また、加工時に切りくずや油などが発生するため、そのような環境にも強い検出器を必要とします。MPFAシリーズは、これら工作機械業界のニーズに対応した既存検出器の特長を継承。電磁誘導方式を採用してゴミ・油・結露などの環境に対する耐久性を有し、高精度な検出器となっています。
さらに、今回新たに開発したシリーズは、パソコンに接続するだけで、スケールとヘッド間の隙間や現在位置を数値表示できるモニター機能"MP VIEW"を標準装備。組み立て時の調整や保守にも便利です。

三菱重工工作機械は、これまで培った革新的な製品とノウハウを用いて、より幅広い分野へのソリューション提案に努め、お客様とともに「ものづくりの未来を創る」ことを目指し、邁進していきます。

（注1）ボールねじとは、モータの回転運動を直線移動に変換するものです。
（注2）エンコーダ（符合化器）とは、広い意味で使われますが、機械分野では回転体の回転角度を検出するもので、モータによく取り付けられてモータの回転速度や回転角度の制御に用いられます。
（注3）分解能とは、物理量を測定値として数値に表す最小単位です。