「Semiconductor Subsystems and Components R&D Center」を米国・サンノゼに開設

―米国の半導体装置メーカーや研究機関との共創・協働を推進―

住友重機械工業株式会社（本社：東京都品川区、代表取締役社長：渡部敏朗、以下「当社」）は、Sumitomo Cryogenics of America, Inc.（本社：米国ペンシルベニア州、CEO：マーク・デラクシャン、）の米国カリフォルニア州サンノゼ事業所内に Semiconductor Subsystems and Components R&D Center（以下「当センター」）を2026年5月に開設しました。

（Sumitomo Cryogenics of America, Inc.サンノゼ事業所）

■当センター開設の目的

当社は、「半導体」および「ロボティクス・自動化」分野を重点投資領域として競争力の強化に取り組んでいます。

精密ステージ、モーションコンポーネント、ロボット技術に関して、米国の半導体装置メーカーや研究機関（以下「米国パートナー」）との共創・協働を推進するための拠点として当センターを開設しました。米国パートナーとの共創・協働を通じて、次世代半導体製造装置向け技術の高度化、アプリケーション領域の拡大、顧客課題の早期解決を図り、パートナーシップの強化と新たな事業機会の創出を目指します。

■当センターの概要

当センターは、低振動のクリーンルームを備えた研究開発拠点です。精密ステージやロボティクスの性能評価に求められるクリーン度と低振動環境を整備し、ナノメートル級の位置決め評価や動特性解析など、次世代半導体製造装置に求められる高度な技術検証を当センターで実施することができます。これにより、米国パートナーと連携した製品開発や評価を実施することが可能です。

（オフィス内部）

（クリーンルーム内部）

施設名称	Semiconductor Subsystems and Components R&D Center
所在地	121 Daggett Drive San Jose CA, 95134, USA
クリーンルームについて	面積：1650sqft(150m2) クリーン度：Class 100（※1） VCランク：VC-E（※2）

（※1）米国連邦規格（Federal Standard）209Eに準拠。

（※2）VC（Vibration Criterion Curve）ランクはIEST（Institute of Environmental Sciences and Technology）-RP（Recommended Practice）-CC024で推奨される対象場所が装置の振動許容範囲に適合しているかを定量的に評価するための基準。VC-Eは最先端ナノ加工に適用可能なレベル。

  

以上