12インチSiウエハを用いたパワー半導体チップをモジュール組立工程に供給開始

需要が旺盛なSiパワー半導体チップの安定供給でGXに貢献

三菱電機株式会社

2024年9月30日 13時00分

12インチSiウエハ対応生産ラインと製造したウエハ（左の作業者が持つSiウエハが製造した12インチSiウエハ、右は同工場で製造した8インチSiウエハ）

　三菱電機株式会社は、パワーデバイス製作所福山工場で製造する12インチSiウエハを用いたパワー半導体チップのモジュール組立工程に向けた本格的な供給を9月30日に開始しました。これにより、民生分野向けを皮切りに、最新のSiパワー半導体モジュールの安定生産が可能になります。当社は、今後の高まる需要に対して、迅速かつ安定的に製品を供給することで、各分野のパワーエレクトロニクス機器の省エネ化を実現し、GX（Green Transformation）に貢献していきます。

　近年、脱炭素社会の実現に貢献するキーデバイスとして、電力を効率よく変換するパワー半導体の需要が拡大・多様化する中、現在のパワー半導体市場で主力製品であるSiパワー半導体は、電気自動車、民生機器、産業用機器、再生可能エネルギー、電鉄などさまざまな分野で活用され、引き続き市場拡大が予測されています。

　パワーデバイス製作所福山工場は、Siウエハを用いたパワー半導体の製造におけるウエハプロセス工程を担当する工場です。当社が中期計画で掲げる「2025年度までに、Siパワー半導体のウエハプロセス工程における生産能力を、2020年度比で約2倍に拡大する計画」の一翼を担っています。今回、12インチSiウエハを用いたパワー半導体チップをモジュール組立工程に向けて本格的に供給を開始したことで、最新のSiパワー半導体モジュールの安定生産が可能となり、今後の高まるパワー半導体の需要に対して、迅速かつ安定的に製品を供給することで、各分野のパワーエレクトロニクス機器の省エネ化を実現し、GXに貢献していきます。

■パワーデバイス製作所福山工場の概要

所在地	広島県福山市大門町旭1番地4
建屋面積・構造	延床面積約46,500m2、3階建て
生産品目	Siパワー半導体（8インチSiウエハ、12インチSiウエハ）
担当生産工程	ウエハプロセス工程（前工程）
沿革	・2021年11月　稼働開始・2022年 4月　8インチSiウエハ対応生産ラインの量産稼働を開始・2023年 8月　12インチSiウエハ対応生産ラインの設置完了・2024年 9月　12インチSiウエハを用いたパワー半導体チップの　　　　　　　モジュール組立工程に向けた本格的な供給を開始