フェムト秒レーザー加工機の基礎から加工事例まで解説

技術資料公開のお知らせ

株式会社光響はこのたび、当社が開発・製造するフェムト秒レーザー加工機の導入検討や加工技術の理解に役立つ技術資料を公開しました。

近年、半導体、電子部品、光学部品、医療機器などの分野では、熱影響を抑えた高精度な微細加工への要求が高まっています。その中で、フェムト秒レーザーやピコ秒レーザーなどの超短パルスレーザーは、非熱加工（コールドアブレーション）による高品質な加工を実現できる技術として注目されています。一方で、フェムト秒レーザー加工は、レーザーの種類や加工原理、適用材料、加工条件など専門的な知識が必要であり、導入にあたっては基礎技術への理解が重要となります。

本資料では、フェムト秒レーザー加工の基礎知識から、高精度加工の特徴、加工可能な材料・加工形状、超短パルスレーザーの基礎、加工事例までを体系的に解説しています。フェムト秒レーザー加工の導入を検討されているお客様や、研究・開発・製造現場で超短パルスレーザー加工に携わる方々に活用いただける内容となっています。導入検討や技術理解にぜひお役立てください。

■資料ダウンロードはこちらから

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■資料概要

• 高精度加工機の種類とフェムト秒レーザー加工機の位置付け

• 超短パルスレーザー加工の特徴

• 超短パルスレーザーの加工材質例、加工形状例

• パルスレーザーの基礎知識とパルスエネルギー・ピーク出力・ピーク強度の計算方法

• 光響製 超精密フェムト秒レーザー加工機の紹介

■ 資料サンプル

従来加工と超短パルスレーザー加工の違いを模式図で比較・解説

超短パルスレーザーは、極めて短時間で発光するレーザーで、加工の特徴は熱ダメージの少ない非熱・非接触加工です。従来加工と比較して、バリやクラックが生じにくい加工が可能です。資料では超短パルスレーザー加工の特徴を解説しています。

図1

資料で分かる「加工材質・加工形状例」

透明体からシリコンウェハーといった幅広い材質への、多彩な加工形状例を資料で一覧化しています。

例1

• 材料：ガラス

• 加工内容：材料表面への超短パルスレーザー照射によりナノメートルオーダーの周期構造を形成

• 波長：1030 nm、515 nm、343 nm

• パルス幅：フェムト秒

• 結果：ワーク表面に周期構造を形成、見る角度によって色が変化する(回折現象)

例2

• 材料：シリコンウェハー（厚さ 0.5 mm）

• 加工内容：六方最密パターンの微細穴加工

• 波長：515nm

• パルス幅：フェムト秒

• 結果：φ0.2 mmの穴を0.25 mm間隔で貫通

■関連製品
光響製 超精密フェムト秒レーザー加工機「Femto-pro」

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担当：川端

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