米国ClassOne Technology 社と日本国内における独占販売契約を締結。ウェーハ工程を自動化する電解メッキ装置“Solstice™”を発売

キヤノンマーケティングジャパン株式会社（代表取締役社長：坂田正弘、以下キヤノンMJ）は、米国ClassOne Technology（クラスワンテクノロジー）社（ClassOne Technology Inc.、CEO：Byron Exarcos）との間で、同社製品の日本国内における独占販売契約を締結し、2018年10 月25日より電解メッキ装置“Solstice™”シリーズの販売を開始します。

Solstice S8

　現在、IoT の広がりによって世界的に半導体の需要が高まっており、今後もデータ流通量の増大やセンサーを使った先進技術の普及などにより、半導体市場の拡大は継続するものと考えられます。中でも自動運転に用いられる測距技術「LiDAR」や、第5世代移動通信システム「5G」などに使われる垂直共振器面発光型レーザー「VCSEL ※ 1」など、化合物半導体の需要は急速に伸長し、関連市場における設備投資が拡大するとともに、生産技術や生産性の向上が求められています。
　このたび契約したClassOne Technology 社はウェーハサイズ20mm以下のウェットプロセス装置におけるリーディングカンパニーです。電解メッキ装置“Solstice” は、20mm以下の各種ウェーハサイズに対応し、業界トップクラスの膜厚均一性とスループットを提供します。また、省フットプリント、自動化対応、優れた制御性を実現し、生産性とプロセスの安定性に寄与します。
　さらに、金、ニッケル、銅など各種メッキを高品質かつ低コストで成膜できることに加え、メタルリフトオフ、レジスト剥離、金のディプレート（電解エッチング）、アンダーバンプメタルエッチング、陽極処理など広範なプロセスの搭載が可能となります。
　
　キヤノンMJ は、今回の契約締結により、既存の当社取り扱い製品との連携提案を進めつつ、ToF ※2を含む3D センシング、高周波光通信、高周波パワー半導体デバイスおよびそれら関連分野における事業成長を推し進めます。また、引き続き産業機器事業において国内外から高品質な機器を調達し、装置の輸入・販売だけでなく、納入後の技術サポートとフィールドサービスを提供していきます。
※1 Vertical Cavity Surface Emitting Laser の略。
※2 Time of Flight の略。照射した光が対象物に当たり、反射光が戻るまでにかかる時間から対象物までの距離を計測する技術。自動車、ロボット、スマートフォンのセンサー、ジェスチャー入力など幅広い用途に用いられる。

 

製品名	希望小売価格（税別）	発売日
電解メッキ装置 “Solstice S8”	2億円～※	2018年10月25日

※ 装置構成や為替レートにより価格は変動します。

＜“SolsticeTM”シリーズの主な特長＞
・量産規模に合わせた3タイプの装置ラインアップ。
・メッキ、洗浄、乾燥、エッチング、メタルリフトオフ、陽極処理など各種プロセスに対応。
・3インチから8インチのウェーハサイズに対応し、インチサイズの変更が容易。
・高いメッキレートによる優れた生産性と緻密なプロセス制御がもたらす優れた膜厚均一性。
・標準シリコンに加え薄ウェーハ、張合せウェーハ、透明ウェーハなど、各種ウェーハに対応。
・金、銅、ニッケル、すず、チタン、合金などさまざまなメッキ膜種に対応。
・VCSEL、スルーウェーハビア、積層薄膜、ディプレート( 電解エッチング) などに対応する金メッキアプリケーションを搭載。
・TSV、Cu ピラー、Cu バンプ、Cu 再配線、Cu ダマシンなどに対応する銅メッキアプリケーションを搭載。
・銅メッキの工程コストを50％削減※可能な、電解液中の添加材消費を低減するCopperMaxチャンバーを搭載。

　※ 同社比

● 一般の方のお問い合わせ先：キヤノンマーケティングジャパン株式会社
　　　　　　　　　　　　　　プロセス機器営業本部 営業第二課03−3740−3315（直通）
● ウェットプロセス装置ホームページ：https://canon.jp/classone
● ニュースリリースホームページ ：https://canon.jp/newsrelease