8月31日(木) AndTech WEBオンライン「半導体フォトレジスト・材料の基礎と応用展開・トラブル対策」Zoomセミナー講座を開講予定
ACE LABO. 代表 山田 達也 氏 （元ナガセケムテックス） にご講演をいただきます。
ポジ型のフォトレジストに限定し、各世代の露光機毎のフォトレジスト材料の構成と、その取り扱い上の注意点、および、そのプロセス条件依存性について解説！
本講座は、2023年08月31日開講を予定いたします。
詳細：https://andtech.co.jp/seminars/1ee2f576-b6e7-681e-9af1-064fb9a95405
Live配信・WEBセミナー講習会 概要
テーマ：半導体フォトレジスト・材料の基礎と応用展開・トラブル対策
開催日時：2023年08月31日(木) 13:00-17:00
参 加 費：39,600円（税込） ※ 電子にて資料配布予定
U R L ：https://andtech.co.jp/seminars/1ee2f576-b6e7-681e-9af1-064fb9a95405
WEB配信形式：Zoom（お申し込み後、URLを送付）
セミナー講習会内容構成
ープログラム・講師ー
ACE LABO. 代表 山田 達也 氏
本セミナーで学べる知識や解決できる技術課題
ポジ型のフォトレジストに限定し、各世代の露光機毎のフォトレジスト材料の構成、その取り扱い上の注意点、そのプロセス条件依存性について
本セミナーの受講形式
WEB会議ツール「Zoom」を使ったライブLive配信セミナーとなります。
詳細は、お申し込み後お伝えいたします。
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本件に関するお問い合わせ
株式会社AndTech 広報PR担当 青木
メールアドレス：pr●andtech.co.jp（●を@に変更しご連絡ください）
下記プログラム全項目（詳細が気になる方は是非ご覧ください）
講演主旨
半導体・ディスプレイ・電子素子・5感センサー等の高機能化にリソグラフィ加工は非常に有用である。
この加工技術において使用されるフォトレジストは、リソグラフィ技術のキーとなる電子材料である。
但し、光感光性を保有する、フォトレジストは非常に高機能であると共に、他の電子材料と比べ、その取扱い・使用環境においてある種の繊細さを必要とする。
また、フォトレジスト性能の良否は、それを使用するプロセス条件に依存する所が大きいため、潜在的な特性に加え、使用するプロセスに対する特性依存性を理解する事も重要である。
そこで、本講演では、ポジ型のフォトレジストに限定し、各世代の露光機毎のフォトレジスト材料の構成と、その取り扱い上の注意点、および、そのプロセス条件依存性について解説する。
プログラム
1.ポジ型フォトレジスト材料(基礎)
1-1 フォトレジストの定義とポジレジスト／ネガレジスト概要
1-2 露光世代別ポジ型フォトレジストに使用されている構成原料概要
1-3 光化学反応とパターニングの原理
２.フォトリソグラフィプロセス概要とポジ型フォトレジストに求められる特性概要
3.ポジ型フォトレジストのパターニング特性を左右する使用プロセスとフォトレジストのパターニング特性に与える影響因子
3-1 塗布装置
3-2 ベーク（プリベーク、PEB、ポストベーク）装置
3-3 露光装置・マスク
3-4 現像装置
4.パターニング後のポジ型フォトレジストの適用プロセスとプロセス耐性に与える影響因子
4-1 ウェットエッチングプロセス
4-2 ドライエッチングプロセス
4-3 イオンインプラプロセス
4-4 めっきプロセス
4-5 リフトオフプロセス
5.フォトレジスト材料の取り扱い上の留意点
5-1 製造上の留意点
5-2 保管上の留意点
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以 上
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