Sigray社のマイクロX線CT顕微鏡“Apex XCT”を発売

キヤノンマーケティングジャパン株式会社（代表取締役社長：足立正親、以下キヤノンMJ）は、国内独占販売契約を締結しているSigray（シグレイ）社（Sigray, Inc.、本社：アメリカ合衆国カリフォルニア州コンコード市、CEO：Dr. Wenbing Yun）製のマイクロX線CT顕微鏡“Apex XCT（エイペックス エックスシーティー）”を2022年1月25日より発売します。

マイクロX線CT顕微鏡“Apex XCT”

https://cweb.canon.jp/indtech/sigray/lineup/Apex/index.html

　このたびキヤノンMJは、Sigray社製マイクロX線CT顕微鏡※1 “Apex XCT”を、2022年1月25日より発売します。“Apex XCT”は、大きな平板状のサンプルを、高空間分解能※2、高スループット※3で測定することが可能です。
　近年、半導体需要の急増に伴い、故障解析や研究開発における非破壊分析のニーズが高まっています。一方で、半導体部品は、金属材料と高分子材料（樹脂材料）が積層構造になっており、これらの材料はX線吸収率が大きく異なるため、非破壊での故障解析や品質管理が困難でした。
　この課題に対し“Apex XCT”は、特許出願中のSigray社独自の装置機構により、サブミクロン空間分解能においても、最大直径300mmサイズまでのサンプルを切り出すことなく、約15分間※4で測定することが可能になりました。これにより、大きなサンプルにおける内部構造の可視化に貢献します。
　今後もキヤノンMJは、X線分析のニーズの高まりに応え、X線CT装置市場の活性化だけでなく、今まで困難であったアプリケーションの分析にソリューションが提供できるよう、商品ラインアップを拡充し、分析ソリューション事業を拡大していきます。

※1  X線CT顕微鏡（コンピューター断層撮影装置）は、半導体部品（パッケージ、プリント基板、ウエハー）、高機能材料（リチウムイオン電池、全固体電池、燃料電池）、ソフトマテリアル（炭素繊維、高分子材料、ゴム）などの内部構造の解析・検査に利用されています。
※2　近い距離にある２つの物体を識別できる能力のこと。識別できる距離が短い程空間分解能が高い。
※3　短時間で測定できる能力のこと。
※4　シリコンウエハーの場合

 

製品名	希望小売価格（税別）	発売日
マイクロX線CT顕微鏡 　　“Apex XCT”	2億円※5	2022年1月25日

※5 標準仕様の場合。装置構成や為替レートにより価格は変動します。
 

• 一般の方のお問い合わせ先 ：キヤノンマーケティングジャパン株式会社 産業機器事業部　営業部　営業第一課　03-3740-3334
• X線分析装置ホームページ ：https://cweb.canon.jp/indtech/sigray/index.html

＜マイクロX線CT顕微鏡“Apex XCT”の主な特長＞
・サブミクロン空間分解能を実現
・半導体部品（パッケージ、プリント基板、ウエハー）など、平板状サンプルにおいて、従来のSigray社製マイクロX線CT顕微鏡と比較して、約10倍の高スループットを実現
・15分以内で、高品質トモグラフィーデータを取得可能
・最大直径300mmまでの平板状サンプルを高速測定可能な、特許出願中の装置構造を搭載
 
■ 観察対象例
・半導体部品（パッケージ、プリント基板、ウエハー）
・高機能材料（リチウムイオン電池、全固体電池、燃料電池など）
・ソフトマテリアル（炭素繊維、高分子材料、ゴムなど）

■ 半導体部品の故障解析例

Apexと従来CTでの半導体部品の再配線層のき裂やボイド

従来のCTでは、50時間以上の測定時間でも検出できない再配線層のき裂やボイドが、サブミクロンレベル空間分解能で、わずか30分間※5で測定できます。
 ※5サンプルに含まれる材料により、測定時間は変わります。

■ 高速、非破壊、3Dレンダリング画像例

グラフィックカードのGPUの3Dレンダリング画像

平板状の動作可能な状態のグラフィックカードのGPUを1ミクロンボクセルサイズで、測定時間34分間※6で、非破壊撮像しました。
 ※6サンプルに含まれる材料により、測定時間は変わります。

■ ビームハードニングアーティファクトの無い3Dコントラスト画像例

Apexと従来CTで撮像したバンプ内部のき裂

“Apex XCT”は、従来CTのようにビームハードニングアーティファクトの影響を受けません。特許出願中の独自の装置構造により、半導体検査やファクトリーオートメーションで3D
X線イメージングに影響を与えるアーティファクトの多くが軽減され、短時間で鮮明で綺麗な画像再構成が可能になりました。
 
＜Sigray社の概要＞
社名：Sigray, Inc.
設立：2013年
本社所在地：5750 Imhoff Drive, Suite I, Concord CA 94520 USA
社員数：60名※2021年11月時点
事業内容：各種X 線装置およびコンポーネントの販売とサービスの提供
保有知財：成立特許40※件 ※2021年11月時点
ホームページ：http://www.sigray.com/