【ライブ配信セミナー】ALD（原子層堆積）技術の基礎と応用　10月20日（火）開催　主催：(株)シーエムシー・リサーチ

本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったウェビナー（ライブ配信セミナー）となります。

先端技術情報や市場情報を提供している(株)シーエムシー・リサーチ（千代田区神田錦町： https://cmcre.com/ ）では、 各種材料・化学品などの市場動向・技術動向のセミナーや書籍発行を行っておりますが、 このたび「ALD（原子層堆積）技術の基礎と応用」と題するセミナーを、 講師に浦岡 行治 氏（奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科　教授）をお迎えし、2020年10月20日（火）13:30より、 ZOOMを利用したライブ配信で開催いたします。 受講料は、 一般：42,000円 + 税、 弊社メルマガ会員：37,000円 + 税、 アカデミック価格は24,000円 + 税となっております（資料付）。
セミナーの詳細とお申し込みは、 弊社の以下URLをご覧ください！
　https://cmcre.com/archives/60489/
質疑応答の時間もございますので、 是非奮ってご参加ください。

AIや5GなどIoT技術の進歩を支えている半導体加工技術において、高機能な薄膜を形成することは、非常に重要である。薄膜形成技術については、古くからいろいろな手法が開発され、LSI、ディスプレイ、太陽電池などのエレクトロニクスの分野で広く活用されてきた。本セミナーでは、近年、特に注目を浴びているALD（原子層堆積）技術について、その基礎と応用について概説します。特に、堆積の原理や材料について詳しく紹介いたします。また、薄膜トランジスタやパワーデバイスに応用した時の特長や課題についても紹介します。

1）セミナーテーマ及び開催日時 
テーマ：ALD（原子層堆積）技術の基礎と応用
開催日時：2020年10月20日（火）13:30～16:30
参 加 費：42,000円 + 税 ※ 資料付
　　＊ メルマガ登録者は 37,000円 + 税
　　＊ アカデミック価格は 24,000円 + 税
講 師：浦岡 行治 氏　　奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科　教授

【セミナーで得られる知識】
・半導体プロセ ス技術全般（特にALD技術）
・半導体デバイス技術（特にMOSデバイス）
・半導体材料の評価技術（電気的/化学的/物理的）

※本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。推奨環境は当該ツールをご参照ください。後日、視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
★受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。

2）申し込み方法 
シーエムシー・リサーチの当該セミナーサイト
  https://cmcre.com/archives/60489/
からお申し込みください。
折り返し、 視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。
詳細はURLをご覧ください。

3）セミナープログラムの紹介 
1.　薄膜形成技術
　1.1　薄膜作製の基礎
　1.2　薄膜の評価手法
　　1.2.1　電気的評価
　　1.2.2　化学的分析手法
　　1.2.3　光学的評価手法

2.　ALD技術の基礎
　2.1　ALD技術の原理
　2.2　ALD薄膜の特長
　2.3　ALD技術の歴史
　2.4　ALD装置仕組み
　2.5　ALD技術の材料

3.　ALD技術の応用
　3.1　半導体分野への活用状況
　3.2　パワーデバイスへの応用
　3.3　酸化物薄膜トランジスへの応用
　3.4　MOS LSIへの応用

4.　ALD技術の将来
　4.1　ALD技術の課題
　4.2　ALD技術の展望

4）講師紹介
【講師略歴】
1985年3月　豊橋技術科学大学大学院 電気電子修士修了
1985年4月　松下電器産業（株） 半導体研究センター
1996年4月　松下電器産業（株） 液晶開発センター
1999年4月　奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 助教授
2009年4月　奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 教授

【活　動】
1. 応用物理学会 フェロー
2. IEEE シニアメンバー
3. IEEE/AMFPD 国際学会実行委員長
4. JJAP/APEX 副編集委員長
5. CMC出版「低温ポリシリコントランジスタの開発」
6. Intelligent Nanosystems for Energy, Information and Biological Technologies（ISBN: ISBN: 978-4-431-56427-0 (Print) 978-4-431-56429-4 (Online)）

5）セミナー対象者や特典について 
※ 本セミナーは、当日ビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。推奨環境は当該ツールをご参照ください。後日、視聴用のURLを別途メールにてご連絡いたします。 
★ 受講中の録音・撮影等は固くお断りいたします。
【セミナー対象者】
・半導体プロセス・デバイス技術者・学生/教員・企業関係者・研究企画関係者

☆詳細とお申し込みはこちらから↓
　https://cmcre.com/archives/60489/

6）ウェビナー（オンライン配信セミナー）のご案内 
（1）近距離無線・人体通信概論　～ アフターコロナを見据えたビジネス戦略 ～
　　開催日時：2020年10月6日（火）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/60987/

（2）パリティミラーを用いた空中映像・ 空中ディスプレイの基礎と応用開発の現状
　　開催日時：2020年10月6日（火）14：00～16：00
　　https://cmcre.com/archives/64420/

（3）リチウムイオン電池の性能・劣化・寿命評価
　　開催日時：2020年10月7日（水）10：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/61455/

（4）第一原理計算によるマテリアル・デバイス設計
　　開催日時：2020年10月7日（水）12：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/61133/

（5）光学メタマテリアル概論
　　開催日時：2020年10月8日（木）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/61323/

（6）異種デバイス集積化に向かう半導体パッケージのプロセス技術と最新動向
　　開催日時：2020年10月8日（木）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/63621/

（7）金属積層造形（金属3Dプリンター）の現状と今後について
　　開催日時：2020年10月9日（金）13：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/61362/

（8）ALD(原子層堆積法)の基礎と応用(1日コース) 　～ 薄膜形成の原理から、最新の応用展開の状況まで ～
　　開催日時：2020年10月9日（金）10：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/63369/

（9）ゲノム編集技術の基礎と応用
　　開催日時：2020年10月12日（月）10：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/62142/

（10）外観検査の自動化技術と運用ノウハウ
　　開催日時：2020年10月13日（火）10：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/61843/

（11）5GおよびBeyond 5Gで求められる部品・材料の技術動向と応用展開
　　開催日時：2020年10月13日（火）10：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/65975/

（12）回路と基板のノイズ設計技術の基礎
　　開催日時：2020年10月14日（水）10：30～16：30
　　https://cmcre.com/archives/61381/

☆続々追加中！
☆開催予定のウェビナー一覧はこちらから！↓
　https://cmcre.com/archives/category/seminar/webseminar_f/

7）関連書籍のご案内
☆発行書籍の一覧はこちらから↓
　https://cmcre.com/archives/category/cmc_all/
                                                                                                         以上