STとSoitec、SiCウェハ製造技術で協力

・将来的な200mm SiCウェハ製造に向け、Soitecの技術に関する認証作業を実施することで合意
・eモビリティへの移行や産業システムの高効率化に貢献する重要な半導体技術

多種多様な電子機器に半導体を提供する世界的半導体メーカーのSTマイクロエレクトロニクス（NYSE：STM、以下ST）と、革新的な半導体材料の開発・製造を行うSoitec（Euronext Paris）は、SiC（炭化ケイ素）ウェハ製造技術において協力することを発表しました。STは、SoitecのSiCウェハ製造技術の認証作業を今後18ヵ月間で実施する予定です。今回の協力は、STがSoitecのSmartSiC™技術を将来的な200mmウェハ製造に採用し、中期的な量産を行うことによるデバイスおよびモジュールの増産を目標としています。

STのオートモーティブ & ディスクリート製品グループ 社長であるMarco Montiは、次のようにコメントしています。「200mm SiCウェハへの移行は、システムや商品の電動化を急ぐ自動車 / 産業分野のお客様にきわめて大きなメリットをもたらすでしょう。また、増産によって規模の経済を高める上でも重要です。STは、高品質のウェハから、前工程 / 後工程製造まで、製造チェーン全体にわたってノウハウを最大限に活かすために、垂直統合型の製造モデルを採用しています。Soitecとの技術協力は、歩留りおよび品質の継続的な向上が狙いです。」

Soitec社の最高執行責任者（COO）であるBernard Asparは、次のようにコメントしています。「電気自動車の登場により、自動車業界は大きな転換点に直面しています。当社の最先端技術であるSmartSiC™は、独自のSmartCut™プロセスをSiCに応用させたもので、SiCの導入を加速させる上で重要な役割を果たすでしょう。SoitecのSmartSiC™ウェハとSTの業界をリードするSiC技術や専門性を組み合わせることで、車載用半導体製造に変革をもたらし、新たな業界水準を打ち立てます。」

SiCは、優れた特性を備えた革新的な化合物半導体として、eモビリティや産業プロセスなど、重要かつ高成長を続ける電源アプリケーションにおいて、シリコンを上回る性能と効率を提供します。これにより、電力変換の高効率化や設計の小型･軽量化、システム設計全体のコスト削減など、産業および車載システムに重要なメリットを提供します。また、150mmウェハから200mmウェハへの移行により、IC基板の有効面積が約2倍になり、ウェハ1枚当たりの歩留りが1.8倍～1.9倍に向上するため、生産能力の大幅な向上が期待されています。

SmartSiC™は、 Soitecの独自技術であるSmartCut™を使用して、高品質のSiCドナー･ウェハを薄く分割し、低抵抗のポリSiCハンドル・ウェハ上に接着する技術です。これにより、デバイス性能と製造歩留りの改善に貢献します。高品質のドナー･ウェハは再利用可能なため、製造全体において必要なエネルギー消費量を大幅に削減します。

Soitecについて
Soitec（Euronext Paris、Tech 40銘柄）は、革新的な半導体材料の開発・製造を行う世界的リーダーです。独自の技術を使用して電子機器市場に製品を供給しています。世界各地で3,700件以上の特許を取得しているSoitecの戦略は、まったく新しいイノベーションをベースとして、性能、エネルギー効率、コスト競争力といった顧客のニーズに対応することです。Soitecは、製造施設、研究開発センター、オフィスをヨーロッパ、米国、およびアジアに有しています。持続可能な開発に注力するSoitecは、その取組みを明確に反映させるため、「持続可能で卓越した生活体験を実現するスマートでエネルギー効率に優れた電子機器を生み出すためのイノベーションの土壌となる。」という企業目標を2021年に掲げました。

Soitec、SmartSiC™、およびSmartCut™はSoitecの登録商標です。

◆Soitecへのお問い合わせ先
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STマイクロエレクトロニクスについて
STは、約48,000名の従業員を擁し、包括的なサプライ･チェーンと最先端の製造設備を有する世界的な総合半導体メーカーです。約20万社を超えるお客様や数千社のパートナー企業と協力しながら、お客様のビジネス創出や持続可能な社会をサポートする半導体ソリューションの開発ならびにエコシステムの構築に取り組んでいます。STのテクノロジーは、スマート･モビリティ、電力エネルギー管理の効率化、IoT･コネクティビティの普及を可能にします。STは、2027年までのカーボン･ニュートラルの実現を目標にしています。さらに詳しい情報はSTのウェブサイト（ http://www.st.com ）をご覧ください。

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