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関西学院大学と豊田通商“欠陥ゼロ”の6インチSiC基板を実現する革新的プロセス技術を開発

2021年3月1日 19時36分 学校法人関西学院 　　 　　

パナソニックと東京精密で共同開発プラズマダイシング工法向けレーザパターニング装置の受注を開始

2018年3月12日 15時40分 パナソニックグループ