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TOMOEGAWAの「フレキシブル面状ヒーター iCas MHE」環境省ETV事業で20％以上の省エネ効果を実証

2026年6月2日 10時28分 株式会社巴川コーポレーション 　　 　　

TOMOEGAWAの通気性ヒーターがニコンの半導体露光装置に採用

2026年5月18日 15時08分 株式会社巴川コーポレーション 　　 　　

巴川コーポレーション「フレキシブル面状ヒーター」「グリーンチップ CMF」　環境技術実証（ETV）事業の実証対象技術に選定

2025年6月6日 13時43分 株式会社巴川コーポレーション 　　 　　

巴川コーポレーション「フレキシブル面状ヒーター」 製造設備を新設

2024年11月26日 14時39分 株式会社巴川コーポレーション