高生産性と高精細化を両立したIT機器用ディスプレイ向けFPD露光装置を発売 第8世代ガラス基板で解像力1.5μmと重ね合わせ精度±0.35μmを実現 2022年7月20日 13時00分 キヤノン株式会社
高生産性と高精細化を両立したIT機器用ディスプレイ向けFPD露光装置を発売 第8世代ガラス基板で解像力1.5μmと重ね合わせ精度±0.35μmを実現 2022年7月20日 13時00分 キヤノン株式会社
