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EUVリソグラフィ向けフォトマスク上に2ナノメートル世代以降の微細なパターンの解像を達成

2024年12月12日 10時00分 大日本印刷（DNP） 　　 　　

2ナノメートル世代のEUVリソグラフィ向けフォトマスク製造プロセス開発を加速

2024年3月27日 09時00分 大日本印刷（DNP）