SEM/TEM画像などの超微細画像データに特化したAI計測解析ソフトウェア「Smart3」：フランスPollen社とKESCOが日本国内販売で戦略的提携

〜ロバストな超微細画像解析とマルチモーダルデータ活用により、歩留まり・品質を最適化。チップメーカー、半導体装置・材料業界の製造現場にプロセス制御の革新を〜

2025年6月9日
東京都千代田区 / フランス・モワラン

フランスのAIプロセス制御ソフトウェア開発企業であるPollen Metrology（本社：フランス・モワラン）と、製造業向けCAE・AIソリューションの導入支援を手がける計測エンジニアリングシステム株式会社（KESCO）（本社：東京都千代田区）は、日本市場における販売提携を締結したことを発表いたします。

この提携により、Pollen社が開発したSmart3 Suiteを、KESCOが日本国内で販売・技術支援を行います。Smart3は、半導体や電子デバイスなどの製造現場で活用できるAIベースのプロセス制御ソリューションであり、歩留まり向上、欠陥解析、AIによる計測画像解析を可能にします。

■Pollen社 Smart3 Suiteについて

Smart3は、製造プロセスにおける「データ活用による最適化」をAIの力で実現する、モジュール型・オープン型・協調型の次世代ソフトウェアプラットフォームです。

Pollen独自の協調型AIにより、データサイエンティストや現場技術者は、ノーコード環境で業務フローの自動化や画像解析AIの組み込みが可能になります。これにより、従来のソフトウェア開発と比較して10倍以上の効率化が期待でき、企業は自社の知見を活かしつつ、不足している機能だけをモジュール単位で柔軟に補完できます。

Smart3は以下の3つの中核モジュールで構成されており、いずれも中核プラットフォームであるSmartOEM3上に搭載され、ユーザー自身がノーコードでカスタマイズ可能です：

• SmartMET3：SEMやTEM画像など、ナノスケールの計測画像に対するAI解析を支援するモジュール

• SmartDEF3：ウエハ検査における欠陥検出・分類・トレンド分析を担うモジュール

• SmartYIELD3：製造歩留まりの向上を目的とした最適化・統計解析モジュール

さらにSmart3の革新的な特長は、これらの機能を単なるオフライン解析にとどめず、製造装置に組み込み可能なAIプロセス監視機能としても活用できる点にあります。SEMや光学検査装置、計測センサー等から得られる多種多様なデータ（マルチモーダルデータ）をリアルタイムに活用し、製造現場での異常検知・フィードバック制御・知識継承といった高度なプロセス制御へと発展させることができます。

製造装置に組み込み可能なAIプロセス監視を実現

対応業界と用途領域

半導体産業
・あらゆる製造工程（リソグラフィ、エッチング、成膜など）に対応した高度プロセス制御
・計測・検査・プロセス最適化を統合的に支援
・SEM、TEM、CD-SEM、AFM、音響顕微鏡、光学顕微鏡など多様な解析装置との連携に対応

電子ディスプレイ分野
・フォトニクス関連の先端プロセスに対応
・AR/VR、MicroLEDなど次世代ディスプレイ技術の開発・量産を支援

高機能材料分野
・化学・機械・光学特性を持つ革新的材料の研究開発と品質評価に活用

プレスリリース(PDF)はこちらからダウンロードいただけます。

■KESCOの役割と日本市場への提供体制

KESCOは、半導体・高機能材料・精密加工業界において20年以上の実績を持ち、CAEおよびAI技術の導入支援を手がけてまいりました。今回の提携により、日本国内の製造業ユーザーに対して、Smart3の導入支援、トレーニング、サポートを含めた包括的な体制を構築します。
「Smart3は、日本の製造現場が直面している『複雑性の増大』に対する最適解です。AIを活用した柔軟かつ強力なプロセス制御技術を、当社のエンジニアリングサポートとともにお届けできることを非常に嬉しく思います。」

■今後の展望

PollenとKESCOは、今後も密に連携し、Smart3の日本市場での導入を加速させてまいります。国内の半導体ファブ、装置メーカー、材料開発企業への展開を進め、製造プロセスの革新と競争力強化を支援します。

【製品詳細・導入に関するお問い合わせ】
計測エンジニアリングシステム株式会社（KESCO）
セールスマーケティング部：[e-mail]
https://kesco.co.jp/

【Smart3製品公式ページ】
Pollen Metrology: https://www.pollen-software.com/