小野測器、静電容量式非接触厚さ計 CL-7100シリーズを発表

半導体・EV・二次電池の品質検査に、さらなる高精度と効率を

電子計測器の製造および販売を展開する株式会社小野測器（代表取締役社長 大越 祐史）は、導体・半導体・絶縁体※の厚さを1台で非接触測定できる「静電容量式非接触厚さ計 CL-7100シリーズ」を2025年12月より発売します。

※オプション（CL-0740 絶縁体計測機能）の搭載が必要です

静電容量式非接触厚さ計　CL-7100

ロングセラー製品「CL-5610シリーズ」の後継機として、測定精度と応答性能を大幅に強化し、温度測定やEthernet通信など新機能も搭載。検査工程の効率化と品質向上を強力にサポートします。

本製品は、シリコンウェハーやモーター用電磁鋼板、EVバッテリー用のフィルムなど、多様な材料の厚さ測定に対応します。多彩な変位センサーとの組み合わせで、生産ラインの品質管理を高精度・高速化へと進化させます。

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【新製品3つのポイント】

• 高精度・高応答 ─ 測定精度±0.05～0.12 ％FS（センサーとの組み合わせによる）、演算周期 10 ms

• 新機能搭載 ─ 温度測定・補正機能、Ethernet通信（オプション）

• 操作性向上 ─ 見やすく使いやすいタッチパネルディスプレイ

【ターゲット市場・主な用途】

• 導体・半導体の厚さ測定
  　例：シリコンウェハー、モーター用電磁鋼板

• 絶縁体の厚さ測定（オプション CL-0740搭載時）
  　例：リチウムイオン電池および燃料電池用の絶縁体フィルム

測定例：　スライドテーブル上のシリコンウェハー厚さ測定（CL-015 スライドテーブル使用）

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【特長】

• 非接触・高精度・高応答の計測性能

当社の非接触厚さ計は、測定対象物に物理的な影響を与えることなく高い再現性を実現します。

このたび発売するCL-7100シリーズは、従来製品と比べて、より高精度な測定が可能となり（±0.05 ％FS〜±0.12 ％FS、センサーとの組み合わせによる）、演算周期も20 msから10 msへ短縮。多点連続測定や高速ラインに対応し、検査時間の短縮と高品質な計測を同時に実現します。

• 温度測定・ネットワーク連携（オプション）

PT-100温度センサーによる環境温度の測定が可能となりました。

厚さ測定と同時に温度データを取得することで、温度変化に伴う測定誤差を補正し、より高精度な測定を実現します。

さらにEthernet通信に対応し、ネットワーク経由での一括管理・データ収集・遠隔監視をサポートします。

• 直感的に使えるカラー液晶タッチパネルディスプレイ

視認性に優れたカラー液晶ディスプレイとわかりやすいメニュー構成により、必要な情報に素早くアクセス可能。変位・厚さ・温度など、最大4項目の測定データを1画面に同時表示。画面切り替えなしで複数の情報を一括確認できるため、測定状況をすばやく把握できます。

ハードキー操作にも対応し、手袋を着けたままでも、さまざまな現場環境で確実かつ快適に操作可能です。

• 小型・軽量・低消費電力化

小型・軽量化設計により、体積・質量ともに従来比約50 %を実現しました。また、低消費電力化により環境負荷を抑え、カーボンニュートラルの実現に貢献します。

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