検査装置のタカノ、12月13日から15日に開催される「SEMICON Japan 2023」に出展

半導体市場向けの欠陥検査装置などをご紹介

タカノ株式会社(本社：長野県上伊那郡宮田村、代表取締役社長：鷹野 準)は、2023年12月13日(水)～15日(金)に東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2023」に出展いたします。

展示ブースイメージ

今回は、デバイスメーカー、ファウンドリー、装置メーカー、材料メーカーなどに向けた半導体向け検査装置、外観検査装置を出展いたします。タカノでは、光学からレーザー検査まで幅広い範囲をカバーしております。
ぜひ、タカノブースへお立ち寄りください。

• 出展製品

1.ウェーハ表面検査装置（WMシリーズ）

半導体デバイスの製造、材料開発、装置管理に欠かせない検査システムです。光源には半導体レーザーを使用しており、ランニングコストの軽減になります。
ナノレベルのパーティクル（異物）を検出することが可能で、国内外にて数多く使用していただいております。

また、新製品WM-10Rの発売を予定しております。

国際的な安全認証を獲得しており、従来品WM-10と比較して安全性と品質がさらに向上しております。WM-10Rについても本展示会でご紹介いたします。

WMシリーズ：WM-7SR

WMシリーズ：WM-10R

URL：https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/wm/


2. ウェーハ外観検査装置（Viシリーズ）

ウェーハの配線パターンやクラック、異物混入などを高精度に検査します。ウェーハサイズ・デバイス・欠陥等の種類・検査速度に応じて、5種類のラインナップからご提案できます。

Viシリーズ

Viシリーズ対応 不具合例

URL：https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/pattern/

3.マイクロバンプ検査装置（ALTAX-300EX）

新たに開発した自社製高速カメラを用いることで、直径10μm、ピッチ20μmまでのマイクロバンプを高速で全数検査できます。

ALTAX-300EX

URL：https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/altax-300ex/

4.全面膜ムラ検査装置（Thinspector）

1スキャンでウェーハ全面の膜厚測定、ムラ検査を高速に行い、抜けのない膜厚管理が可能です。

Thinspector

URL：https://www.takano-kensa.com/kensa/products/semiconductor/thinspector/

• 「SEMICON Japan 2023」概要

SEMICON Japanロゴ

開催日程　　： 2023年12月13日(水)～15日(金)
開催時間　　： 10:00～17:00　
開催場所　　： 東京ビッグサイト（東展示棟）
ブース番号　： 5913

公式HP：https://www.semiconjapan.org/jp

ご来場の際には、事前登録(無料)が必要です。来場者事前登録サイトよりお申し込みください。
▽来場者事前登録サイトはこちら
https://semi.eventos.tokyo/web/portal/609/event/7901/module/ticket/221175/

• タカノについて

「製造業から『創造業』へ」
ばねの製造に始まり、オフィス家具、エクステリア製品へ。そして先進のエレクトロニクス製品、さらには医療・福祉関連製品、体外診断用医薬品へとタカノは次々に新分野への参入を実現し、常に新しい製品の開発にチャレンジしてきました。この展開力こそがタカノの特色であり、発展の源です。
「常に高い志を持ち、社会のルールを守り、世の中の変化を見すえ、持続的成長・発展を通じ、豊かな社会の実現に貢献する」という経営基本理念にのっとり、これからもあらゆる角度から可能性を追求し、未踏の領域に挑戦していきます。

【会社概要】
会社名　： タカノ株式会社
                東京証券取引所スタンダード市場上場(証券コード：7885)
所在地　： 長野県上伊那郡宮田村137
代表者　： 代表取締役社長　鷹野 準
創業　　： 1941年7月1日
設立　　： 1953年7月18日
URL　　 ： https://www.takano-net.co.jp
事業内容： 事務用椅子、その他椅子等のオフィス家具、ばね、エクステリア製品、エレクトロニクス関連製品(画像処理検査装置、電磁アクチュエータ)、医療・福祉機器の製造ならびに販売