先端半導体製造における超純水用配管のPFASフリー化にめど

積水化学工業株式会社

2025年7月8日 11時00分

2025年7月8日

　積水化学工業株式会社（代表取締役社長：加藤敬太、以下「積水化学」）の環境・ライフラインカンパニー（プレジデント：平居義幸）では、昨今の世界的なPFAS規制強化の流れや環境負荷低減ニーズの高まりを受けて、先端半導体製造における超純水用配管材に有機フッ素化合物を含まないPFASフリー化の新たな技術の確立に取り組んできました。今般、技術確立にめどが立ったため、顧客への提案を本格化します。

１．背景

　半導体産業やFPD産業※では、使用される超純水の水質を低下させずに供給する必要があり、配管資材の種類としては、樹脂材料では、硬質塩化ビニル（PVC）、ポリプロピレン（PP）、フッ素樹脂（PVDF、PTFE、PFA）、金属材料では、特殊表面処理の金属管が使われています。

　昨今、超微細化が進む先端半導体産業では、無機物および有機物の溶出ができるだけ少ない配管資材が求められています。

※FPD産業：フラットパネルディスプレイ（Flat　Panel　Display）の製造に関連する全ての産業の総称。液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ、LEDディスプレイなどが含まれる。

２．PFASと規制について

　PFAS（通称ピーファス）とは自然界で分解されにくく、人体や生態系への影響が懸念されている有機フッ素化合物（ペルフルオロアルキル化合物およびポリフルオロアルキル化合物）の総称です。

　PFASのうち、PFOA（ペルフルオロオクタン酸）およびPFOS（ペルフルオロオクタンスルホン酸）の製造・輸入等はすでに禁止されていますが、現時点ではフッ素樹脂材料の超純水用パイプ・継手等に使用されているPVDF、PTFEなどは国内では規制対象外です。しかしながら、欧米ではPFASを包括的に規制対象とする検討が行われるなど、世界的にPFASに対する規制が強化される傾向にあります。

３．開発の経緯

　これまで積水化学では、プラスチック管材のパイオニアとして、1984年に超純水を輸送する硬質塩化ビニル製配管資材『エスロンクリーンパイプ』を発売、以降豊富な実績に支えられ広範囲に使用いただいています。

　このたび、PFASの観点でフッ素樹脂に替わる低溶出な新素材として特殊オレフィン樹脂配管材を開発し、2022年11月より栗田工業株式会社と共同で、実際の超純水製造装置を用いた実証を進めてきました。この特殊オレフィン樹脂配管材は、従来のフッ素樹脂系配管材と比較し、製造時のCO2排出量の約80％削減を可能にします。

　そしてさらに、世界的なPFAS規制の流れを受け、超純水用パイプ・継手のPFASフリー化に取り組んでまいりました。