私たちの生活になくてはならない半導体チップを製造する装置　「キヤノン露光装置50周年記念ウェブサイト」公開

スマートフォン（スマホ）やパソコン、デジタルカメラ、ゲーム、自動車、さらには交通や通信など社会インフラにも使われているさまざまな半導体チップ。世界で年間1兆個近く出荷されている（※1）私たちの生活になくてはならない半導体チップが、どのように作られているか知っていますか？キヤノンは、半導体チップを作るために必要な「半導体露光装置」を1970年から製造しています。
このたび、半導体露光装置発売開始から50周年を記念して、「露光装置」の仕組みや性能をイラストや動画で分かりやすく説明した「キヤノン露光装置50周年記念ウェブサイト」を公開しました。さらに、自由研究にも役立つ露光の仕組みを分かりやすく紹介するキッズ向けページも用意しました。
普段見ることのない「露光装置」の技術をぜひ知ってください。
URL：https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/50th/

• 半導体露光装置

皆さんが持っているスマホには、数ミリ角の半導体チップが数多く入っています。半導体露光装置は、光を使って半導体チップの基板にナノメートル（10億分の1メートル）単位の微細な電気回路を描きます。その装置の大きさは六畳の部屋ほどです。キヤノンの半導体露光装置の解像力は、1つの基板をサッカーコートの大きさと仮定すると、そこに0.2mmの細い線をびっしり描いているようなものです。詳しくはこちら：https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/50th/technology/

基板をサッカーコートと仮定すると・・・

0.2ｍｍのポールペンで描く細さ!

 

•  FPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置

スマホのディスプレイを作るためにも露光装置が必要です。ディスプレイも電気回路を持っており、FPD露光装置はその電気回路を描く装置です。一回の露光で65型テレビなどの大きなディスプレイも作ることができます。そのため、装置の大きさは幅約8メートル、奥行き約10メートル、高さ約5メートル以上、基板を載せるプレートステージだけでも、アジアゾウ1頭分の重さがある巨大装置です。詳しくはこちら：https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/50th/technology/

FPD露光装置での露光イメージ

 

• ナノインプリント半導体製造装置

次世代半導体製造装置の「ナノインプリント半導体製造装置」。解像力は15ナノメートル以下を実現しました。シャープペンシルの0.5mmの芯に、約33,000本の線を描けるくらいの細さです。半導体露光装置と同じく回路を描く装置ですが、光で転写するのではなく、物理的に押印して回路図を描き半導体チップを作ります。詳しくはこちら：https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/50th/technology/

回路転写イメージ

 

• キッズ向けページ

小学生向けに露光の仕組みを分かりやすく紹介したページも用意しています。光とレンズの役割についてイラスト(※2)を使って説明していますので、イメージが湧きやすく理解しやすい内容になっています。夏休みに家族で一緒に学んでみてください！詳しくはこちら：https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/50th/kids/

キッズ向けページイメージ。ボタンを押すとアニメーションが！

 

キヤノンが、国産初の半導体露光装置「PPC-1」を1970年に発売し、半導体露光装置事業に本格参入して今年で50周年を迎えました。これからもキヤノンは高度な技術に磨きをかけた露光装置で社会の発展に貢献します。

※1　出典：IC Insights, Inc. The McClean Report 2020_Section 2. Semiconductor Market Outlook（Date Released 01/21/2020）
※2　分かりやすくするためにキッズ向けページ内のイラストは簡略化しています。