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AEM社、高性能セラミックスおよび半導体研磨向け新製品群を発表 — 高機能セラミクス展『Ceramic Japan』にて出展！

2024年10月2日 09時05分 サン・テンコンサルティング 　　 　　

水に溶ける１ナノメートルの球状粒子、水溶性フラーレンを開発。銅ウエハのCMP研磨で１ナノメートル以下の平坦性を実現。【産技助成Vol.76】

2008年11月26日 10時00分 独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構