水に溶ける１ナノメートルの球状粒子、水溶性フラーレンを開発。銅ウエハのCMP研磨で１ナノメートル以下の平坦性を実現。【産技助成Vol.76】 2008年11月26日 10時00分 独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構
水に溶ける１ナノメートルの球状粒子、水溶性フラーレンを開発。銅ウエハのCMP研磨で１ナノメートル以下の平坦性を実現。【産技助成Vol.76】 2008年11月26日 10時00分 独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構
