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「窒化スカンジウムアルミニウム」に関するプレスリリース一覧
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スパッタ法を用いて高品質なScAlN薄膜の作製に成功 ~成長温度の系統的変化が構造特性と電気特性に及ぼす影響を解明~
2025年8月8日 13時00分
東京理科大学
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スパッタ法を用いて高品質なScAlN薄膜の作製に成功 ~成長温度の系統的変化が構造特性と電気特性に及ぼす影響を解明~
2025年8月8日 13時00分
東京理科大学
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