プレスリリース・ニュースリリース配信サービスのPR TIMES

High-NA EUV世代のデバイス開発と量産におけるニーズに応えた高精度電子線計測システム「GT2000」を発売

2023年12月12日 13時09分 日立ハイテク 　　 　　

アプライド マテリアルズ 高NA EUVリソグラフィへの道を開く新しい電子ビーム計測装置を発表

2023年3月6日 13時00分 アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社 　　 　　

EUV適用で高まる検査計測ニーズに対応した電子線広視野検査システム「GS1000」を開発

2021年12月13日 11時34分 日立ハイテク